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主分類

                        
A 農業

                        
B 作業；運輸

                        
C 化學；冶金

                        
D 紡織；造紙

                        
E 固定建筑物

                        
F 機械工程、照明、加熱

                        
G 物理

                        
H 電學

                        

                    

                		
                
                    

                        

                            分類號
                            描述
                            
                            
                        

                        

                        

B
作業；運輸






B81
微觀結構技術






B81C
專門適用于制造或處理微觀結構的裝置或系統的方法或設備






B81C1-00
在基片內或其上制造或處理的裝置或系統






B81C3-00
從單獨處理過的部件組裝裝置或系統






B81C5-00
.（轉入B81C 99/00）






B81C99-00
本小類其他各組中不包括的技術主題  



                    

                		
            

        

    







   


      



  

    

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