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主分類

A 農(nóng)業(yè)

B 作業(yè)；運(yùn)輸

C 化學(xué)；冶金

D 紡織；造紙

E 固定建筑物

F 機(jī)械工程、照明、加熱

分類號(hào)	描述

C	化學(xué)；冶金

C30	晶體生長(zhǎng)		查看

C30B	單晶生長(zhǎng)		查看

C30B25-00	反應(yīng)氣體化學(xué)反應(yīng)法的單晶生長(zhǎng)，例如化學(xué)氣相沉積生長(zhǎng)		查看

C30B25-02	.外延層生長(zhǎng)		查看

	C30B25-04	..圖案沉積，例如使用掩膜的	查看

	C30B25-06	..反應(yīng)濺射法的	查看

	C30B25-08	..反應(yīng)室；其所用材料的選擇	查看

	C30B25-10	..反應(yīng)室或襯底的加熱	查看

	C30B25-12	..襯底夾持器或基座	查看

	C30B25-14	..氣體供給或排出用的裝置；反應(yīng)氣流的變換	查看

	C30B25-16	..控制或調(diào)節(jié)	查看

	C30B25-18	..以襯底為特征的	查看

	C30B25-22	..夾層的工藝方法	查看

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