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主分類

                        
A 農業

                        
B 作業；運輸

                        
C 化學；冶金

                        
D 紡織；造紙

                        
E 固定建筑物

                        
F 機械工程、照明、加熱

                        
G 物理

                        
H 電學

                        

                    

                		
                
                    

                        

                            分類號
                            描述
                            
                            
                        

                        

                        

G
物理






G03
攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術






G03F
圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設備






G03F1-00
用于圖紋面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其專門適用于此的容器；其制備






G03F1-20
.用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如通過電子束；其制備






G03F1-22
.用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射線掩膜、深紫外






G03F1-26
.相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制備






G03F1-36
.具有臨近校正特征的掩膜；其制備，例如光學臨近校正(OPC)設計工藝 






G03F1-38
.具有輔助特征的掩膜，例如用于校準或測試的特殊涂層或標記；其制備 






G03F1-50
.未包含在G03F 1/20-G03F 1/26組中的空白掩膜；其制備






G03F1-52
.反射鏡






G03F1-54
.吸收劑，例如不透明材料






G03F1-60
.基板 






G03F1-62
.薄膜或薄膜集合，例如在支持框架上具有薄膜；其制備






G03F1-66
.專門適用于掩膜，空白掩膜或薄膜的容器；其制備






G03F1-68
.未包含在G03F 1/20至G03F 1/50組中的制備工藝 






G03F1-88
.通過制備具有模擬浮雕的原版的照相過程的制備 






G03F1-90
.采用蒙太奇方法制備 






G03F1-92
.從印刷表面制備 



                    

                		
            

        

    







   


      



  

    

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