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主分類

A 農(nóng)業(yè)

B 作業(yè)；運(yùn)輸

C 化學(xué)；冶金

D 紡織；造紙

E 固定建筑物

F 機(jī)械工程、照明、加熱

分類號(hào)	描述

G	物理

G03	攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)		查看

G03F	圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備		查看

G03F1-00	用于圖紋面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其專門(mén)適用于此的容器；其制備		查看

G03F1-22	.用于通過(guò)100nm或更短波長(zhǎng)輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射線掩膜、深紫外		查看

	G03F1-24	..反射掩膜；其制備	查看

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