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主分類

A 農(nóng)業(yè)

B 作業(yè)；運(yùn)輸

C 化學(xué)；冶金

D 紡織；造紙

E 固定建筑物

F 機(jī)械工程、照明、加熱

分類號	描述

G	物理

G03	攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)		查看

G03F	圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備		查看

G03F1-00	用于圖紋面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其專門適用于此的容器；其制備		查看

G03F1-26	.相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制備		查看

	G03F1-28	..在相同的PSM上具有三個或更多不同的相位；其制備	查看

	G03F1-29	..凸緣PSM或者邊框型PSM；其制備	查看

	G03F1-30	..交替式PSM，例如Levenson-Shibuya PSM；其制備	查看

	G03F1-32	..衰減 PSM [att-PSM], 例如半色調(diào)PSM或者有半透明相移部分的PSM；其制備	查看

	G03F1-34	..相邊緣PSM,例如無鉻PSM；其制備	查看

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