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G 物理
H 電學(xué)
分類號 描述
H 電學(xué)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-027 ..未在H01L 21/18或H01L 21/34組中包含的為進一步的光刻工藝在半導(dǎo)體之上制作掩膜
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件,例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層
H01L21-62 ..無躍變勢壘或表面勢壘的器件

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