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G 物理
H 電學
分類號 描述
H 電學
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件,例如PN結、耗盡層、載體集結層
H01L21-18 ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有雜質的AⅢBⅤ族化合物構成的半導體,如摻雜材料
H01L21-20 ....半導體材料在基片上的沉積,例如外延生長
H01L21-22 ....雜質材料的擴散,例如在半導體或半導體的交界區摻入或析出摻雜材料,電極材料;雜質材料的再分配,例如,不引入或去除過多的摻雜劑
H01L21-24 ....雜質材料
H01L21-26 ....用波或粒子輻射轟擊的
H01L21-28 ....用H01L 21/20至H01L 21/268各組不包含的方法或設備在半導體材料上制造電極的
H01L21-30 ....用H01L 21/20至H01L 21/26各組不包含的方法或設備處理半導體材料的
H01L21-328 ....制造雙極型器件,例如二極管、晶體管、晶閘管的臺階式工藝
H01L21-334 ....制造單極型器件的臺階式工藝

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