[其他]用反應(yīng)氣體淀積的材料制作半導(dǎo)體器件的方法及其設(shè)備在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 101985000002326 | 申請(qǐng)日： | 1985-04-01 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN85102326B | 公開(kāi)（公告）日： | 1988-09-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 西杰森;尤杰;范德普特爾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 菲利浦光燈制造公司 |
| 主分類號(hào)： | 分類號(hào)： | ||
| 代理公司： | 中國(guó)專利代理有限公司 | 代理人： | 吳秉芬;肖春京 |
| 地址： | 荷蘭艾*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | 用反應(yīng)氣體淀積的材料制作半導(dǎo)體器件的方法及其設(shè)備。依本法，把若干半導(dǎo)體材料基片放在爐管內(nèi)安置的反應(yīng)管內(nèi)加熱，在反應(yīng)管壁上開(kāi)有一些孔，反應(yīng)氣體經(jīng)這些開(kāi)孔流過(guò)，進(jìn)行淀積半導(dǎo)體材料。為實(shí)現(xiàn)此法，在爐子管道內(nèi)沿著反應(yīng)管壁的外側(cè)產(chǎn)生一個(gè)氣體流，而且只有該氣流的一部分經(jīng)開(kāi)孔通入反應(yīng)器管道。使用此法防止在基片上淀積上在反應(yīng)氣體內(nèi)可能形成的尺寸不同、成分不同的微粒。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 反應(yīng) 氣體 材料 制作 半導(dǎo)體器件 方法 及其 設(shè)備 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
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