[其他]無掩模被覆金屬的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 101985000007549 | 申請日: | 1985-10-14 |
| 公開(公告)號: | CN85107549B | 公開(公告)日: | 1988-05-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 萊斯特·維恩·赫羅恩;阿納達·霍薩克里·卡馬 | 申請(專利權(quán))人: | 國際商用機器公司 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利代理部 | 代理人: | 郁玉成 |
| 地址: | 美國紐*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 對已有金屬圖形進行被覆的無掩膜金屬被覆法中,采用了隔離保護層來保護它下面的不希望覆蓋其它金屬的區(qū)域,以不使重金屬在上沉積及隨后擴散。選擇該層的組成,使其具有經(jīng)受處理和支撐金屬被覆層的足夠機械強度,以及具有經(jīng)受金屬濺散和擴散過程中高溫的熱牢固性。此保護層含有有機成分粘結(jié)劑,此粘結(jié)劑在沉積金屬前的加熱步驟中、或就在擴散過程中熱分解,留下一個惰性的、不含碳的無機隔離層來支持金屬被覆層。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 無掩模 被覆 金屬 方法 | ||
【主權(quán)項】:
暫無信息
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