[其他]拋光用液態粘接劑在審
| 申請號: | 101986000001702 | 申請日: | 1986-03-12 |
| 公開(公告)號: | CN86101702B | 公開(公告)日: | 1988-12-14 |
| 發明(設計)人: | 張祖良 | 申請(專利權)人: | 洛陽單晶硅廠 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 洛陽市專利事務所 | 代理人: | 王炳南 |
| 地址: | 河南省洛陽市*** | 國省代碼: | 河南;41 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 本發明是用于硅片拋光生產中將硅片粘接在拋光載體上的一種液態粘接劑。它由三氯乙烯、松香,和增塑劑按比例在常溫常壓下配制而成。用它可把硅片粘在拋光載體上,在50℃,12kg/cm↑[2]的壓力下拋光時硅片不移動,拋光后載體冷卻至-5℃時,粘在拋光載體上的硅片很容易取下。用三氯乙烯蒸汽很容易將硅片上的粘接劑洗凈。適用于大規模拋光硅片生產線上使用。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 拋光 液態 粘接劑 | ||
【主權項】:
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