[其他]金屬—氧化鋁—硅結構濕度傳感器及其制備工藝在審
| 申請號： | 101986000002535 | 申請日： | 1986-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN86102535B | 公開（公告）日： | 1988-11-16 |
| 發明（設計）人： | 駱如楊 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海冶金研究所 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 中國科學院上海專利事務所 | 代理人： | 季良趕;沈德新 |
| 地址： | 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： |
本發明是Ｓｉ－ＭＯＳ結構Ａｌ |
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| 搜索關鍵詞： | 金屬 氧化鋁 結構 濕度 傳感器 及其 制備 工藝 | ||
【主權項】：
暫無信息
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