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[其他]用于云紋干涉法的閃耀衍射光柵及試件柵制備工藝無效

專利信息
申請號: 85100054 申請日: 1985-04-01
公開(公告)號: CN85100054B 公開(公告)日: 1986-10-22
發明(設計)人: 傅承誦;吳振華;戴福隆 申請(專利權)人: 清華大學;北京光學儀器廠
主分類號: G02B5/18 分類號: G02B5/18;G01B11/16
代理公司: 清華大學專利事務所 代理人: 張秀珍
地址: 北京市海*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 用于云紋干涉法中的閃耀衍射光柵。本發明屬用光學方法和衍射光柵元件測量固體的變形。本發明為用于云紋干涉法中的位相型閃耀衍射光柵。其斷面形狀為等腰三角形。密度為50~1200線/毫米的平行柵和正交柵。復制在試件表面上形成試件柵。選擇等腰三角形的斜面傾角β和光柵節距p,使入射的相干準直光在所需要的m衍射極上進行閃耀,獲得最大光強。利用衍射波前的干涉,可以獲得代表試件表面的位移場和應變場的高靈敏度、高反差的云紋干涉條紋圖。
搜索關鍵詞: 用于 干涉 閃耀 衍射 光柵 試件柵 制備 工藝
【主權項】:
1一種由柵體和基體構成的光柵,其特征是用于云紋干涉法中的位相型閃耀衍射光柵,其溝槽斷面形狀為等腰三角形。
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