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[其他]多束金屬和氣體粒子束發(fā)生裝置無(wú)效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 85100610 申請(qǐng)日: 1985-04-01
公開(kāi)(公告)號(hào): CN1004664B 公開(kāi)(公告)日: 1989-06-28
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 江興流 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 蘭州大學(xué)
主分類號(hào): 分類號(hào):
代理公司: 蘭州大學(xué)專利事務(wù)所 代理人: 郭書軍;吳大明
地址: 甘肅省蘭州市*** 國(guó)省代碼: 甘肅;62
權(quán)利要求書: 查看更多 說(shuō)明書: 查看更多
摘要: 多束金屬和氣體粒子束發(fā)生裝置,放電室由金屬極板和絕緣片交替迭起構(gòu)成,金屬極板上至少有兩個(gè)孔,不同金屬極板上的孔數(shù)相同或不同。該裝置可產(chǎn)生多束電子束和金屬離子束,處理面積大,被處理材料的表面性能將產(chǎn)生很大的變化,應(yīng)用范圍很廣。
搜索關(guān)鍵詞: 金屬 氣體 粒子束 發(fā)生 裝置
【主權(quán)項(xiàng)】:
1、多束金屬和氣體粒子束發(fā)生裝置,放電室由金屬極板(3〕和絕緣片〔2〕交替迭起構(gòu)成,本發(fā)明的特征是金屬極板(3)上的孔是兩個(gè)或兩個(gè)以上的,不同金屬極板上的孔數(shù)相同或不同。
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