[其他]半導體壓力傳感器無效
| 申請號： | 85105726 | 申請日： | 1985-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN85105726A | 公開（公告）日： | 1987-03-04 |
| 發明（設計）人： | 武田次郎;市川范男;鶴岡一廣 | 申請（專利權）人： | 株式會社日立制作所 |
| 主分類號： | G01C9/04 | 分類號： | G01C9/04 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人： | 劉暉 |
| 地址： | 日本東京都千代*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 一個半導體應變計放置在外殼體的凹槽腔室中。在凹槽腔室內有一個臺階，在臺階的內壁周圍部位上有微細的溝槽。在具有傳遞壓力孔的金屬盤外部周圍，使用塑料流體封裝的方法，將金屬盤夾到微細的溝槽上。在臺階的平面部位放上密封薄膜之后，從而將密封薄膜緊緊地封住凹槽腔室。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 壓力傳感器 | ||
【主權項】：
1、一種半導體壓力傳感器有一個外殼體，其中具有一個用來封裝半導體應變計的腔室，一個密封薄膜緊緊地密閉住上述腔室，用密封油充入上述密封薄膜和上述腔室中間的空間里，其特征在于：具有一個壓力傳遞孔的面板外圍上，用塑料流體材料在腔室的外圍部位將上述密封膜緊緊地密封在上述腔室上。
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