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[其他]偏振條紋掃描數字干涉儀無效

專利信息
申請號: 85106007 申請日: 1985-08-06
公開(公告)號: CN85106007B 公開(公告)日: 1988-03-02
發明(設計)人: 伍樹東;陳祥禎;陶琇 申請(專利權)人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
主分類號: G01M11/00 分類號: G01M11/00;G01B9/02
代理公司: 中國科學院上海專利事務所 代理人: 張澤純
地址: 上海市8*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 偏振條紋掃描數字干涉儀是用于光學檢驗的儀器,它利用起編器、偏振小孔、菲涅爾相板組成的位相偏振編碼器將被測的位相分布φ(X、Y)編碼為不同偏振角分布φ(X、Y)/2,通過旋轉檢編器進行條紋掃描,其干涉圖由電視攝像機接收,送入微機進行數據處理。發明提供了測量透鏡、球面和平面等光學元件的實用的偏振條紋掃描數字干涉儀。該發明的特點是結構簡單,操作方便,在一般環境條件下工作,可獲得高精密的測量。
搜索關鍵詞: 偏振 條紋 掃描 數字 干涉儀
【主權項】:
1.一種用于光學檢驗的偏振條紋掃描數字干涉儀,含有激光光源〔1〕、偏振軸可調的起偏器〔12〕、帶有偏振小孔〔14〕的偏振板〔13〕、四分之一波片〔15〕、成象透鏡〔6〕、旋轉檢偏器〔7〕、其特征在于所說的四分之一波片為費涅爾相板〔15〕,所說的偏振軸可調起偏器〔12〕位于被測元件〔4〕之后,並與偏振板〔13〕和費涅爾相板〔15〕一起構成位相偏振編碼器〔5〕,微機〔10〕通過同步控制機構〔8〕使所說的旋轉檢偏器〔7〕同步旋轉,產生條紋掃描,干涉圖被電視攝象機〔9〕接收,送入微機〔10〕進行數據處理。
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