[其他]偏振條紋掃描數字干涉儀無效
| 申請號: | 85106007 | 申請日: | 1985-08-06 |
| 公開(公告)號: | CN85106007B | 公開(公告)日: | 1988-03-02 |
| 發明(設計)人: | 伍樹東;陳祥禎;陶琇 | 申請(專利權)人: | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號: | G01M11/00 | 分類號: | G01M11/00;G01B9/02 |
| 代理公司: | 中國科學院上海專利事務所 | 代理人: | 張澤純 |
| 地址: | 上海市8*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | 偏振條紋掃描數字干涉儀是用于光學檢驗的儀器,它利用起編器、偏振小孔、菲涅爾相板組成的位相偏振編碼器將被測的位相分布φ(X、Y)編碼為不同偏振角分布φ(X、Y)/2,通過旋轉檢編器進行條紋掃描,其干涉圖由電視攝像機接收,送入微機進行數據處理。發明提供了測量透鏡、球面和平面等光學元件的實用的偏振條紋掃描數字干涉儀。該發明的特點是結構簡單,操作方便,在一般環境條件下工作,可獲得高精密的測量。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 偏振 條紋 掃描 數字 干涉儀 | ||
【主權項】:
1.一種用于光學檢驗的偏振條紋掃描數字干涉儀,含有激光光源〔1〕、偏振軸可調的起偏器〔12〕、帶有偏振小孔〔14〕的偏振板〔13〕、四分之一波片〔15〕、成象透鏡〔6〕、旋轉檢偏器〔7〕、其特征在于所說的四分之一波片為費涅爾相板〔15〕,所說的偏振軸可調起偏器〔12〕位于被測元件〔4〕之后,並與偏振板〔13〕和費涅爾相板〔15〕一起構成位相偏振編碼器〔5〕,微機〔10〕通過同步控制機構〔8〕使所說的旋轉檢偏器〔7〕同步旋轉,產生條紋掃描,干涉圖被電視攝象機〔9〕接收,送入微機〔10〕進行數據處理。
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