[其他]無掩模被覆金屬的方法無效

申請號：	85107549	申請日：	1985-10-14
公開（公告）號：	CN85107549B	公開（公告）日：	1988-05-25
發明（設計）人：	萊斯特·維恩·赫羅恩;阿納達·霍薩克里·卡馬	申請（專利權）人：	國際商用機器公司
主分類號：	H01L21/02	分類號：	H01L21/02;H01L21/60;C23C14/04
代理公司：	中國國際貿易促進委員會專利代理部	代理人：	郁玉成
地址：	美國紐***	國省代碼：	暫無信息
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摘要：	對已有金屬圖形進行被覆的無掩膜金屬被覆法中，采用了隔離保護層來保護它下面的不希望覆蓋其它金屬的區域，以不使重金屬在上沉積及隨后擴散。選擇該層的組成，使其具有經受處理和支撐金屬被覆層的足夠機械強度，以及具有經受金屬濺散和擴散過程中高溫的熱牢固性。此保護層含有有機成分粘結劑，此粘結劑在沉積金屬前的加熱步驟中、或就在擴散過程中熱分解，留下一個惰性的、不含碳的無機隔離層來支持金屬被覆層。
搜索關鍵詞：	無掩模被覆金屬方法
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【主權項】：

1.將金屬有選擇地覆蓋在多個彼此隔開的金屬區(暴露于一個基片的表面)中一部門區上的方法，其特征在于具有如下步驟：制備由陶瓷顆粒、可解聚的聚合粘結劑劑和溶劑組成的漿料；用漿料涂覆選定數量的上述金屬區：將上述基片的整個表面(包括無保護層的所述金屬區)上覆蓋一層重金屬薄層；加熱所述基片，使該金屬層與所述無保護層的金屬區慢慢混合并熔合，以及從所述表面的非金屬區上去除漿料涂層和覆蓋的重金屬薄層。

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