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[其他]用于電磁懸浮物鏡的平移和角度位置檢測系統(tǒng)的光掃描裝置無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 86104848 申請日: 1986-06-07
公開(公告)號(hào): CN86104848A 公開(公告)日: 1987-05-27
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 杰勒德·埃杜亞德·范羅斯馬倫 申請(專利權(quán))人: 菲利浦光燈制造公司
主分類號(hào): G11B7/095 分類號(hào): G11B7/095
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 吳秉芬
地址: 荷蘭艾*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一光掃描裝置,帶有一輻射源,一物鏡和一用以測定在掃描裝置中物鏡的平移位置和角度位置的平移位置和角度位置檢測系統(tǒng)。此系統(tǒng)包括一個(gè)中心對著物鏡且固定在物鏡上的錐狀環(huán)形鏡,一對安置于錐狀環(huán)形反射器的輻射通道中的輻敏感檢測系統(tǒng),還包括由一環(huán)形帶隔離的兩個(gè)檢測器,每個(gè)分為四個(gè)象限。此掃描裝置還包括一電磁系統(tǒng),它有在物鏡周圍的一環(huán)形永久磁鐵和至少六個(gè)安置于兩個(gè)軸向移動(dòng)平面中的磁繞組。
搜索關(guān)鍵詞: 用于 電磁 懸浮 物鏡 平移 角度 位置 檢測 系統(tǒng) 掃描 裝置
【主權(quán)項(xiàng)】:
1、光掃描裝置,其組成部分為:一輻射源,一用來聚焦輻射源產(chǎn)生的輻射光束以便在被掃描的表面上形成掃描光點(diǎn)的物鏡,一平移位置和角度位置的檢測系統(tǒng),用來檢測物鏡沿兩個(gè)正交軸的平移位置和物鏡對于此兩軸的角度位置,此兩軸均垂直于輻射光束主射線延伸,和一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),用以平移和轉(zhuǎn)動(dòng)物鏡,使其對應(yīng)于由平移位置和角度位置檢測系統(tǒng)提供的控制信號(hào),其特征在于平移位置和角度位置檢測系統(tǒng)包括一錐狀環(huán)形鏡其中對準(zhǔn)物鏡并固定在物鏡上和一對輻射敏感的檢測系統(tǒng),安置在自錐狀環(huán)形反射來的輻射通道上,此對輻射敏感的檢測系統(tǒng)并包括兩個(gè)檢測器,由一環(huán)帶隔離,每一檢測器分為四個(gè)象限。
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