[其他]鐵硅鋁合金磁膜及其制造方法和迭層薄膜磁頭無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 86106790 | 申請日: | 1986-10-07 |
| 公開(公告)號: | CN86106790A | 公開(公告)日: | 1987-07-15 |
| 發(fā)明(設計)人: | 齋藤和宏;森泰一 | 申請(專利權(quán))人: | 日本礦業(yè)株式會社 |
| 主分類號: | H01F10/14 | 分類號: | H01F10/14;H01F41/22;G11B5/62 |
| 代理公司: | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利代理部 | 代理人: | 王以華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 本發(fā)明涉及鐵硅鋁合金磁膜及其制造方法和迭層薄膜磁頭。所述磁膜有一基底和在其上形成的鐵硅鋁合金膜。所述基底的熱膨脹系數(shù)比上述鐵硅鋁合金膜的低。將上述合金膜的氬含量控制在0.01至0.3%重量比的范圍內(nèi),以使膜中的內(nèi)應力基本為零。通過用DC濺射裝置向基底提供RF偏壓并控制組分的重量比來淀積上述磁膜。用本發(fā)明的磁膜制造的迭層薄膜磁頭具有矯頑力低、導磁率高的良好磁性能。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 鋁合金 及其 制造 方法 薄膜 磁頭 | ||
【主權(quán)項】:
1、一種鐵硅鋁合金磁膜,它是具有基片以及在基片上形成的鐵硅鋁合金膜的磁膜,其特征在于:上述基片的熱膨脹系數(shù)小于上述鐵硅鋁合金膜的熱膨脹系數(shù),把膜中的含氬量控制在0.01~0.3%重量比的范圍內(nèi),以便使上述鐵硅鋁合金膜內(nèi)的內(nèi)部應力實際上降到零。
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