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[其他]在金屬制件上制備硅擴散涂層的方法無效

專利信息
申請號: 86108935 申請日: 1986-12-11
公開(公告)號: CN86108935A 公開(公告)日: 1987-07-29
發明(設計)人: 阿萊詹德羅·利奧波多·卡布雷拉;約翰·弗朗西斯·柯納;羅伯特·阿爾文·朱勒;羅納德·皮爾蘭托喬 申請(專利權)人: 氣體產品與化學公司
主分類號: C23C10/08 分類號: C23C10/08
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 羅才希,盧新華
地址: 美國賓夕*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 在金屬制件上制備一種硅擴散涂層的方法,其步驟是把金屬制件暴露于還原性的氣氛中,接著在一種含硅烷為1ppm至100%(體積)其余為氫或氫和惰性氣體的混合物的氣氛中進行處理。用具有規定露點的氫氣作為表面預處理劑及對硅烷的稀釋劑。
搜索關鍵詞: 金屬 制件 制備 擴散 涂層 方法
【主權項】:
1、在金屬表面上制備硅擴散涂層的方法,其步驟包括:a)對該金屬進行預處理,方法是在低于1200℃的溫度下及在一個對該金屬的元素組成為還原性的受控氣氛中,把金屬加熱,以便減少或完全防止在金屬的暴露表面上形成一層起隔離作用的涂層;以及b)把該金屬在這樣一些條件下進行處理,即使金屬制件維持在低于1000℃的溫度下并處于受控的氣氛中,使該氣氛含有至少1ppm(體積)的硅烷,其余為氫或氫與惰性氣體的混合物,并且這種氣氛中的硅烷/氧摩爾比大于2.5,而氧/氫摩爾比小于2×10-4,以此來使硅擴散進入金屬制作的表面內。
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