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[其他]壓電陶瓷動(dòng)態(tài)微位移補(bǔ)償器無效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 86203862 申請(qǐng)日: 1986-06-02
公開(公告)號(hào): CN86203862U 公開(公告)日: 1987-09-16
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 陳懋圻;楊昌海 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 大連工學(xué)院
主分類號(hào): B23Q23/00 分類號(hào): B23Q23/00
代理公司: 大連工學(xué)院專利事務(wù)所 代理人: 花向陽
地址: 遼寧省大*** 國省代碼: 遼寧;21
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一種壓電陶瓷動(dòng)態(tài)微位移補(bǔ)償器,屬于非電變量的控制或調(diào)節(jié)系統(tǒng),該補(bǔ)償器用鋯鈦酸鉛壓電陶瓷片疊堆而成,片與片之間不加銅箔,而用真空離子鍍滲工藝鍍上2—3μm厚的銅層,其靜動(dòng)態(tài)性能良好,滿量程線性誤差小于0.6%;在500Hz以下,幅頻特性近似一水平直線。為在機(jī)床加工中,對(duì)加工誤差實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)補(bǔ)償控制提供了一種動(dòng)態(tài)響應(yīng)好的補(bǔ)償手段,以實(shí)現(xiàn)較低成本、更可靠地獲得高精度和特高精度的工件。
搜索關(guān)鍵詞: 壓電 陶瓷 動(dòng)態(tài) 位移 補(bǔ)償
【主權(quán)項(xiàng)】:
1、一種壓電陶瓷動(dòng)態(tài)微位移補(bǔ)償器,它包括高強(qiáng)度膠粘合、加壓和烘烤的壓電陶瓷片疊堆、極線[3]和外套[2],本實(shí)用新型的特征在于,具有經(jīng)過研磨保證兩面的平面度及平行度誤差均不大于0.3μm,在兩面的同一直徑上互相錯(cuò)開分別加工有小楔面,表面有用真空離子鍍法鍍上的厚度為2~3μm銅層,同極面的小楔面[5]對(duì)齊并焊成極點(diǎn)[4],焊在極點(diǎn)[4]上的同一極的極線聯(lián)在一起,從外套[2]的孔中引出的壓電陶瓷片[1]。
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1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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