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[其他]鍺基片單層硫化鋅高強度增透膜無效

專利信息
申請號: 87102489 申請日: 1987-03-28
公開(公告)號: CN87102489A 公開(公告)日: 1988-10-12
發明(設計)人: 余菊仙 申請(專利權)人: 昆明物理研究所
主分類號: C23C14/06 分類號: C23C14/06;C23C14/24;C23C14/58
代理公司: 云南省專利事務所 代理人: 李燦
地址: 云南省昆明市*** 國省代碼: 云南;53
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 鍺基片用單層硫化鋅(ZnS)高強度增透膜制備方法屬于紅外器件,紅外儀器和設備中紅外光學薄膜的制造方法。本發明的工藝方法是采用冷基片蒸鍍,然后在大氣中對膜層進行特定條件下進行熱處理,解決了膜層的光學性能和力學強度之間的矛盾。在保證了膜層具有優良的光學性能的前提下獲得了具有耐磨、耐腐蝕,抗潮、耐高低溫和溫度驟變的沖擊,是紅外器件,紅外儀器和設備中很重要的光學薄膜。
搜索關鍵詞: 鍺基片 單層 硫化鋅 強度 增透膜
【主權項】:
1、一種鍍在Ge基片上的單層ZnS增透膜的制造方法,其特征是:采用了冷基片蒸鍍和特定溫度下熱處理強化工藝。
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