[其他]消除半導體層制造缺陷的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 87102718 | 申請日: | 1987-04-08 |
| 公開(公告)號: | CN87102718B | 公開(公告)日: | 1988-08-31 |
| 發(fā)明(設計)人: | 山崎舜平;鈴木邦夫;金花美樹雄;深田武;阿部雅芳;小林一平;柴田克彥;薄田真人;永山進;小柳薰 | 申請(專利權)人: | 株式會社半導體能源研究所 |
| 主分類號: | H01L21/02 | 分類號: | H01L21/02;H01L31/18 |
| 代理公司: | 中國專利代理有限公司 | 代理人: | 肖春京,蕭掬昌 |
| 地址: | 日本神奈*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 本發(fā)明介紹了一種加工半導體器件的經過改良的方法。按照本發(fā)明,在制造半導體層過程中所產生的縫隙在用淀積法制造電極之前用絕緣體進行填充。借助這種結構。即使在半導體層上有透明電極,也不會形成短路電流路徑。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 消除 半導體 制造 缺陷 方法 | ||
【主權項】:
1.一種治愈具有一正電極和一負電極的多個半導體元件中的缺陷的方法,其特征在于該方法包括下列步驟:制備多個串聯連接的穩(wěn)壓器件,所說半導體元件相應于不同的穩(wěn)壓器件;將各半導體元件與相應的穩(wěn)壓器件并聯;以及將一小于所說元件的最低擊穿電壓的電壓以所說元件起絕緣元件作用的方向施加在該聯串的所說穩(wěn)壓器件的兩端,以使電流只流過所說缺陷,產生足夠的熱量以燒去所說缺陷。
下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社半導體能源研究所,未經株式會社半導體能源研究所許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://m.szxzyx.cn/patent/87102718/,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:制備11β-芳基雌二烯類化合物的方法
- 下一篇:液壓內燃機
- 同類專利
- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





