[其他]電子能譜儀無效
| 申請號： | 87103626 | 申請日： | 1987-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN87103626A | 公開（公告）日： | 1988-06-01 |
| 發明（設計）人： | 伊安·羅伯特·米歇爾·瓦德爾;彼得·阿蘭·科克森 | 申請（專利權）人： | VG儀器集團有限公司 |
| 主分類號： | G01N23/227 | 分類號： | G01N23/227;G01T1/36 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人： | 劉暉 |
| 地址： | 英國西*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 本發明提供產生電子發射表面圖象的電子能譜儀，包括a)使表面發射電子的裝置；b)第一靜電透鏡系統，把電子投射到第一衍射面上，作電子圖象的傅里葉變換；c)第一個表面圖象的環形電容式靜電能量分析儀；d)能量選擇裝置，用來發射只在選定范圍內的上述能量偏差傅里葉變換電子；e)第二靜電系統。本發明的能譜儀可檢測分析圖象平面中空間細節的純能量譜，并可把能量范圍內發射電子形成的表面圖象投射到第二個圖象平面上。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 電子 能譜儀 | ||
【主權項】：
1、一個用于產生電子發射表面圖象的電子能譜儀，上述能譜儀包括：a)使上述表面發射電子的裝置；b)第一靜電透鏡系統，至少把某些所述電子投射到第一衍射面上，作為至少部分上述表面電子圖象的傅里葉變換；c)具有物平面和與其共軛的第一圖象表面的環形電容式靜電能量分析儀，上述分析儀的上述物平面與上述第一衍射平面重合并投射上述傅里葉變換電子作為上述第一圖象平面內的能量偏差傅里葉變換；d)能量選擇裝置，用本發射只在所選能量范圍內的上述能量偏差傅里葉變換電子；e)第二靜電透鏡系統，用來接收上述能量選擇裝置發出的電子并且隨后把部分所述表面電子圖象投射到第二圖象平面上。
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