[其他]感應耦合等離子體質(zhì)量分析儀無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 87104633 | 申請日： | 1987-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN87104633A | 公開（公告）日： | 1988-01-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 御石治三 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | H01J49/10 | 分類號： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利代理部 | 代理人： | 李強 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 暫無信息 | 說明書： | 暫無信息 |
| 摘要： | 本發(fā)明的感應耦合等離子體分析儀預先使靜電屏蔽裝置保持于接地電位，等離子體由于這種靜電屏蔽，與感應線圈產(chǎn)生的電場屏蔽隔離，從而保持與靜電屏蔽裝置幾乎相同的接地電位。因此所產(chǎn)生的離子的電壓變化得以抑制，同時由等離子體取出的離子的能量也較低，且其能量范圍也小，從而使質(zhì)量分析儀的分辨率得到了改善。另外，在小孔間產(chǎn)生的收縮放電也受到抑制，從而防止了紫外線噪聲的產(chǎn)生。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 感應 耦合 等離子體 質(zhì)量 分析 | ||
【主權(quán)項】：
感應耦合等離子體質(zhì)量分析儀，其特別在于在產(chǎn)生高頻磁場的感應線圈和導入氣體溶膠的等離子體吹管之間，設有一用于屏蔽由感應線圈產(chǎn)生的電場的靜電屏蔽裝置。
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