【主權(quán)項】：

1、一種通過測量移動物體的位移、角度或速度對該物體進(jìn)行控制和定位的電容式直線型或旋轉(zhuǎn)型傳感器(實(shí)施例中為旋轉(zhuǎn)型)包括兩個對置的確定一相對間距的定片，定片的間隙中置有一個可在其中轉(zhuǎn)動的動片，動片與主軸相聯(lián)，主軸又與位移的物體相聯(lián)，在一個定片和動片之間形成了第一氣隙，在另一定片和動片之間形成了第二氣隙，在定片和動片的互相對著的各面均涂有導(dǎo)電涂層，它們與相應(yīng)的氣隙一起組成了電容器，其電容值隨動片的轉(zhuǎn)動而變化，上述這種傳感器的特征在于：在動片和定片上的涂層要配置得至少形成兩個同心的園環(huán)區(qū)，其中一個區(qū)組成粗測系統(tǒng)的測量軌跡，而另一個區(qū)組成精測系統(tǒng)的測量軌跡，精測系統(tǒng)的涂層以360°的幾分之一周期地配置在動片和定片的園環(huán)軌跡上，而粗測系統(tǒng)的涂層則以360°為周期配置，這樣，由動片和定片相互相應(yīng)的涂層所產(chǎn)生的耦合電容沿主軸的旋轉(zhuǎn)位移圖形部分地呈正弦形，加上帶有不同前置符號的相對位移的部分正弦電容圖形，就可產(chǎn)生一個周期為360°/ni的近似為純正弦關(guān)系的電容圖形，ni為正自然整數(shù)，用以表示具體測量軌跡的極點(diǎn)對數(shù)，下標(biāo)i表示測量軌跡的號數(shù)。