[其他]晶體增長裝置無效
| 申請號： | 88101744 | 申請日： | 1988-03-26 |
| 公開（公告）號： | CN88101744A | 公開（公告）日： | 1988-10-05 |
| 發明（設計）人： | 戴維·S·哈維 | 申請（專利權）人： | 無比太陽能公司 |
| 主分類號： | C30B15/34 | 分類號： | C30B15/34 |
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 肖爾剛 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 揭示一種按EFG法增長管形晶體的新穎設備，特征為設備至少有一個外通道和至少一個內通道，在坩堝模具組合件和相關的部件中形成，引入至少一條外通道的氣體，藉以輸送入與模具上的增長面相鄰的增長晶體外面的區域，引入至少一條內通道的氣體，輸送入與該增長面相鄰的空心晶體里面的區域，從而內外區中的大氣可以分別控制。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 晶體 增長 裝置 | ||
【主權項】：
1、用熔化物增長選定截面形狀空心晶體的系統中使用的設備，該設備包括：(a)一種坩堝模具組合件，該組合件中有一個容放一種液態原料的室，一個用于晶體形成的增長面，承托在晶種附近的原料液膜，至少一個毛細管，通過毛細作用，用該熔化物的該原料液膜將該增長面潤濕，該增長面的俯視為其特點為有一個內緣和一個外緣的環形構形，因此可在增長面上，從熔化物膜增長空心管體；(b)形成遠離該坩堝模具組合件的氣體第一進口孔的第一孔裝置；(c)形成遠離該坩堝模具組合件的氣體第二進口孔的第二孔裝置；(d)將引入該第一孔裝置的氣體，輸送到與該增長面的該內緣相鄰的該坩堝模具組合件的第一通道裝置；(e)將引入該第二孔裝置的氣體，輸送到與該增長面的該外緣相鄰的該坩堝模具組合件的第二通道裝置；
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