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[其他]絕緣材料上的靜電潛象的無損讀出設(shè)備和方法無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 88102717 申請日: 1988-05-03
公開(公告)號: CN88102717A 公開(公告)日: 1988-11-16
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 埃米爾·卡米恩尼克基;威廉·C·戈德法布 申請(專利權(quán))人: 光學(xué)診繼系統(tǒng)有限公司
主分類號: H01L31/06 分類號: H01L31/06;H01L31/18
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 何耀煌,肖掬昌
地址: 美國馬*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 在絕緣材料薄片或薄層上形成的靜電潛象的無損讀出方法和設(shè)備。半導(dǎo)體材料薄片或薄層設(shè)置于相對靠近該絕緣材料的附近。在該絕緣材料上形成的靜電潛象在該半導(dǎo)體材料表面上感生表面耗盡層。當(dāng)用適當(dāng)波長的低光強(qiáng)調(diào)制后的光束對該半導(dǎo)體材料掃描時(shí),就將在該半導(dǎo)材料上所儲存的各電荷位置和分布狀況作為相當(dāng)于在該半導(dǎo)體材料上所感生的交流表面光電壓的模擬電信號而讀出,模擬信號的幅值取決于本身的電荷密度。該模擬電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號,經(jīng)處理后儲存和/或顯示出來。
搜索關(guān)鍵詞: 絕緣材料 靜電 無損 讀出 設(shè)備 方法
【主權(quán)項(xiàng)】:
1、一種光感受器,其特征在于:它包括:a.一個(gè)敏感元件,和b.一個(gè)讀出元件,c.所述敏感元件包括一個(gè)光導(dǎo)絕緣體,d.所述讀出元件包括:i一個(gè)透明基片,ii一個(gè)在所述基片頂面上的、起檢測電極作用的透明導(dǎo)電層,iii一個(gè)在所述導(dǎo)電層頂面上的半導(dǎo)體材料薄層,iv一個(gè)在所述半導(dǎo)體材料薄層頂面上的保護(hù)絕緣層以及,v一個(gè)在所述保護(hù)絕緣層頂面上的、起基準(zhǔn)電極作用的導(dǎo)電層,所述導(dǎo)電層是柵網(wǎng)狀的。
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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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