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[發明專利]飛秒激光微加工的同步監測裝置有效

專利信息
申請號: 201310286691.1 申請日: 2013-07-09
公開(公告)號: CN103317228A 公開(公告)日: 2013-09-25
發明(設計)人: 劉世炳;董祥明;宋海英;劉嵩 申請(專利權)人: 北京工業大學
主分類號: B23K26/03 分類號: B23K26/03;B23K26/067;B23K26/073
代理公司: 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335 代理人: 昝美琪
地址: 100124 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 激光 加工 同步 監測 裝置
【權利要求書】:

1.飛秒激光微加工的同步監測裝置,包括一臺飛秒激光器(1),其特征在于,構成還包括:沿所述飛秒激光器輸出的飛秒激光光路依次設有兩個平行全反射鏡(2、2‘)、衰減片(3)、偏振片(4)、分束棱鏡(5)、兩個光闌(6、6‘),快門(7)、聚焦透鏡(8)和加工對象(16),所述加工對象(16)固定在旋轉平移裝置(9)上并使光闌(6、6‘)中心與加工對象(16)的豎直中心線在同一平面上,在所述旋轉平移裝置(9)上還固定有L型支架(10),所述L型支架(10)上設置有監測用的CCD(11),所述旋轉平移裝置(9)、所述CCD(11)和所述L型支架(10)均通過信號線與計算機(21)相連。

2.根據權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述分束棱鏡(5)將飛秒激光分成兩束能量完全相同的兩束光,一束沿所述飛秒激光器輸出的飛秒激光光路,用于加工,而另一束沿另一條光路進入功率計(17),作為能量的標本對飛秒激光的能量進行測量。

3.根據權利要求1或2所述的裝置,其特征在于,所述旋轉平移裝置(9)包括精密位移臺(12),旋轉臺(13)、上一維平移臺(14)和下一維平移臺(14‘),所述精密位移臺(12)設在旋轉臺(13)上,所述旋轉臺(13)設在上一維平移臺(14)上,所述上一維平移臺(14)與下一維平移臺(14‘)呈十字交叉滑動連接,上一維平移臺(14)可進行左右移動、下一維平移臺(14‘)可進行前后移動,所述加工對象(16)固定在旋轉平移裝置(9)中的精密位移臺(12)上。

4.根據權利要求3所述的裝置,其特征在于,所述旋轉平移裝置(9)與計算機(21)相連是指精密位移臺(12)和上、下一維平移臺(14、14‘)與計算機(21)相連接,以實現自動控制。

5.根據權利要求4所述的裝置,其特征在于,所述L型支架(10)由小型平移臺(15)、L型支桿(19)、固定托架(18)和旋轉軸構成,所述L型支桿(19)是設有兩個拐點的桿狀件,其上端和下端分別與固定托架(18)和小型平移臺(15)固定連接,在中部兩個拐點處分別安裝第一、第二旋轉軸(20、20‘),所述固定托架(18)用于設置監測用的CCD(11),所述小型平移臺(15)設置在旋轉平移裝置(9)中的上一維平移臺(14)上并與計算機(21)相連,所述L型支架(10)利用其小型平移臺(15)和第一、第二旋轉軸(20、20‘)調節CCD(11)與激光焦點同步以及其與加工對象(16)的距離。

6.根據權利要求5所述的裝置,其特征在于,所述L型支桿(19)是設有兩個直角拐點的桿狀件,其上端與固定托架(18)固定連接,其下端桿成垂直地固定在小型平移臺(15)上,在中部的兩個直角拐點處分別安裝第一旋轉軸(20)和第二旋轉軸(20‘),第一旋轉軸(20)實現其上段支架部分繞垂直于底面小型平移臺(15)面的軸向旋轉,而第二旋轉軸(20‘)實現其上段支架部分繞平行于底面小型平移臺(15)面的軸向旋轉。

7.根據權利要求6所述的裝置,其特征在于,所述兩個光闌(6、6‘)是等高共線的,使入射光束保持固定。

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