[其他]一種定向凝固生長太陽能電池用的多晶硅錠工藝

在審

• 申請號: 101985000000529
• 申請日: 1985-04-01
• 公開（公告）號: CN1005625B
• 公開（公告）日: 1989-11-01
• 發明（設計）人: 唐厚舜;佘夕同
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種以定向凝固法生長太陽能電池用多晶硅錠工藝，包括使用石墨模具和氮化硅脫模劑，在加溫過程中充入氮氣，通過調節功率和調節水流速度的水冷卻方式控制多晶硅生長所需的熱場，其特征在于：

（1）上述石墨模具為組合式，熔硅時懸掛于爐內，形狀為方柱筒形，尺寸與熔鑄爐堂匹配，

（2）上述氮化硅脫模劑采用去離子水或經陽離子交換樹脂提純的重量百分比為0.05～5%的聚乙烯醇水溶液為調料，涂于模具內壁。

2、根據權利要求1所說的生長多晶硅錠的工藝，其特征在于上述的組合式模具由上頂板7、下底板9、前墻板8-2、后墻板8-4、左墻板8-1、右墻板8-3六塊石墨構件組成，其中上底板7或下底板9與墻板間的聯接由溝槽嵌合和石墨螺栓固定，墻板間聯接以凹凸相嵌的形式固定。

3、根據權利要求1所說的生長多晶硅錠的工藝，其特征在于上述的模具在熔鑄爐堂內通過拉桿1懸掛在嵌入上底板7背面溝槽中的橫梁4上。

4、根據權利要求1所說的生長多晶硅錠的工藝，其特征在于所說的水冷卻方式由如下步驟實現：在硅料溶化階段，在爐子的下轉軸13內通入冷卻水，通過其接頭10從模具下底板9導走熱能，硅熔化完畢，將下轉軸13上升，使其接頭10插入模具下底板9背面的圓柱筒12內，撤去橫梁4，然后逐漸加大冷卻水流速，同時由下轉軸13帶動模具逐漸下降。

5、根據權利要求1所說的生長多晶硅錠的工藝，其特征在于充氮氣在模具內硅料熔化階段進行，使其總壓為1.1～5公斤。