[其他]一種微小光程差測量系統

在審

• 申請號: 101985000002287
• 申請日: 1985-04-01
• 公開（公告）號: CN85102287B
• 公開（公告）日: 1987-05-20
• 發明（設計）人: 徐炳德
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械研究所
• 代理公司: 中國科學院長春專利事務所
• 代理人: 劉樹清

1、一種微小光程差測量系統，是由雙頻激光源，共程光路，非共程光路，光混頻器和信號處理系統組成。其特征在于：光源選用光頻穩定度在1×10^-8～5×10^-11之間，頻差值在30KHz～150KHz之間，差頻穩定度在1×10^-4～1×10^-6之間的雙穩頻雙頻激光源，非共程光路采用雙臂可調程平行光路結構，并在此光路中置入電光移相器和光程補償器。

2、按權利要求1所述的測量系統，其特征在于：非共程光路由偏振分束器〔11〕，二平面反射鏡組〔13〕、〔14〕和〔17〕、〔18〕以及合束器〔15〕組成，二不同頻率光經偏振分束器〔11〕分離為成90°角的兩個支臂光路，每一支臂光路中的平面反射鏡組〔13〕、〔14〕或〔17〕、〔18〕的二反射面互相垂直，而且對二不同頻率光均為45°入射，合束器〔15〕位于二不同頻率光重新會合處，而且其分光面對二不同頻率光也均呈45°入射。

3、按權利要求2所述的非共程光路，其特征在于：反射鏡〔13〕、〔14〕可以一起沿反射鏡〔14〕反射光方向前后平移，反射鏡〔18〕和合束器〔15〕也可以沿上述方向一起平移。

4、按權利要求1、2或3所述的測量系統，其特征在于：在非共程光路中的任一支臂光路中插入電光移相器〔16〕，而在另一支臂光路中插入與電光移相器等光程的光程補償器〔12〕。

5、按權利要求1所述的測量系統，其特征在于：雙頻激光源選用光頻穩定度為1×10^-10，頻差值為60KHz，差頻穩定度為1×10^-5的橫向塞曼效應穩頻的He-Ne雙頻激光器。

6、按權利要求1所述的測量系統的用途，其特征在于：可測量1～一個光波長范圍內的微小位移量，微小變形量、相應的微小角度變化量，以及它們的變化過程或者測量1～一個光波長范圍內的透明體的微小折射率變化和微小變形引起的光程變化，及其隨時間變化或空間分布。