[其他]氣體分析儀

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 101985000004270
• 申請(qǐng)日: 1985-06-05
• 公開（公告）號(hào): CN85104270B
• 公開（公告）日: 1987-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 青木潤次;小島建之助
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社堀場制作所
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利代理部
• 代理人: 王彥斌;石小梅

一種氣體分析儀，在從光源出發(fā)經(jīng)過氣體容器至傳感器的多條光路上都備有光闌孔；在各自的光路上還裝有多層干涉帶通濾光片，這種結(jié)構(gòu)形式有可能用來改變每個(gè)傳感器與相應(yīng)的光闌孔之間的距離，或者變化該光闌孔的大小，為的是改變檢測光對(duì)于干涉濾光片的最大入射角，從而改變于涉濾光片的透過率最大的波長。

本發(fā)明所涉及的氣體分析儀，是在從光源出發(fā)經(jīng)過氣體容器而延伸至探測器的光路上裝有多層干涉濾光片的氣體分析儀。

氣體分析儀中使用的多層干涉濾光片，通常都是帶通濾光片，對(duì)于這種帶通濾光片來說，重要的是要有一個(gè)特定波長作為中心波長，因?yàn)檫@個(gè)特定的中心波長也就是適用于裝有該濾光片的氣體分析儀的工作波長，這種帶通濾光片的制造方法，一般是在濾光片的基片上真空蒸鍍大約一百層差不多為0.05微米厚的薄膜，為了得到所需要的特定的中心波長，此膜層厚度的制造精度要求不低于0.5%。

從制造技術(shù)的觀點(diǎn)考慮，對(duì)于這種多層膜干涉濾光片來說，要制造具有特定中心波長的濾光片是困難的，而且實(shí)際上這種特定波長只有在制成之后才能確定。因此，可用的多層干涉濾光片的數(shù)量是非常有限的，只要中心波長稍一偏離所需要的波長，就要把濾光片報(bào)廢，因而這種制造工藝的濾光片成品率很低，多層干涉濾光片通常都是很昂貴的，低成品率的結(jié)果使每個(gè)可用的濾光片的制造成本更高。

本發(fā)明是基于多層干涉濾光片的性質(zhì)而提出的，它利用了光透過濾光片的光的入射角發(fā)生變化時(shí)，透過率最大的波長隨之發(fā)生改變的性質(zhì)。

本發(fā)明的目的就是為了提供一種氣體分析儀，甚至當(dāng)干涉濾光片的中心波長不同于該分析儀所要求的特定波長時(shí)，通過將濾光片的透過率最大的波長改變到所需要的特定波長上，使該分析儀能夠使用。

為了達(dá)到以上目的，本發(fā)明所述的氣體分析儀，至少備有一個(gè)光闌孔和至少裝有一個(gè)多層干涉濾光片，光闌孔是沿著光軸的方向配置的，-光軸就是從光源出發(fā)經(jīng)過氣體容器而連接至少一個(gè)探測器的直線;而多層干涉濾光片所處的位置，應(yīng)能使探測器與光闌孔之間的距離在光軸方向上是可變的。

通過本發(fā)明，就使從氣體容器中出射的光對(duì)于濾光片的最大入射角有可能進(jìn)行調(diào)整，因而，中心波長與所需要的波長的任何差異就可以被消除。這樣做的結(jié)果，使得中心波長在較寬范圍內(nèi)偏離所要求的中心波長的濾光片有可能使用;因此，用上述方法制造多層干波濾光片的成品率就會(huì)顯著地提高，制造可用濾光片的成本也就會(huì)降低。

由于多層干涉濾光片的透過率最大的波長可以改變，舉例來說，就有可能提高丙烷和正己烷之間的相對(duì)靈敏度，改進(jìn)CO₂的校準(zhǔn)曲線。

這里介紹的本發(fā)明的目的以及另外一些目的，從以下的詳細(xì)說明和舉例中可以明顯地看出來。

圖1為按照本發(fā)明提供的氣體分析儀實(shí)施例的剖視圖。

圖2為圖1所示的氣體分析儀傳感器的剖視圖，它表示傳感器是如何運(yùn)動(dòng)的。

圖2（a）～2（c）為光闌孔限定裝置實(shí)施例的局部剖視圖。

圖3（a）和3（b）表示當(dāng)傳感器處于不同位置時(shí)，多層干涉濾光片上光的最大入射角度的變化。

圖4為解釋透過率最大的波長與多層干涉濾光片上光的最大入射角之間關(guān)系的曲線。

圖5為另一種形式的實(shí)施例，其中的光闌孔是可以移動(dòng)的。

圖6為又一種形式的實(shí)施例，其中的光闌孔直徑是可以變化的。