[其他]測量固體表面速度變化的光干涉儀在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 101985000004475 | 申請日： | 1985-06-07 |
| 公開（公告）號： | CN85104475B | 公開（公告）日： | 1988-09-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張仲先 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 浙江大學(xué)專利代理事務(wù)所 | 代理人： | 陳禎祥 |
| 地址： | 浙江省杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 測量 固體 表面 速度 變化 干涉儀 | ||
1、一種測量固體表面速度變化的光干涉儀，由光源、起偏振器、干涉系統(tǒng)、光電探測器及信號檢測系統(tǒng)所組成，本發(fā)明特征是從光源〔1〕發(fā)出的光，經(jīng)干涉系統(tǒng)〔3〕分成兩束，它們分別經(jīng)長光路系統(tǒng)和短光路系統(tǒng)，並先后到達(dá)固體表面〔5〕，其間具有可視為固定的時(shí)間差值τ，此兩束光從表面〔5〕反射回干涉系統(tǒng)時(shí)，各自經(jīng)過與入射光路長短相反的光路系統(tǒng)並到達(dá)光電探測器〔8〕。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉儀，其特征是由分光鏡〔14〕、偏振分光鏡〔18〕構(gòu)成短光路系統(tǒng)。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述干涉儀，其特征是由分光鏡〔14〕光導(dǎo)纖維的光耦合系統(tǒng)〔15〕、〔17〕，光導(dǎo)纖維〔16〕和偏振分光鏡〔18〕構(gòu)成長光路系統(tǒng)。
4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉儀，其特征在于應(yīng)用偏振分光鏡〔18〕和十波片〔19〕，實(shí)現(xiàn)經(jīng)短光路系統(tǒng)射向表面〔5〕的光束，反射回干涉系統(tǒng)時(shí)經(jīng)長光路系統(tǒng)到達(dá)光電探測器〔8〕，而由長光路系統(tǒng)射出的光束經(jīng)短光路系統(tǒng)到達(dá)光電探測器。
5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉儀，其特征在于光源〔1〕可采用普通單色光源或白光加干涉濾光片或激光器制作。
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