[其他]坐標測量儀

在審

• 申請號: 101985000004875
• 申請日: 1985-06-26
• 公開（公告）號: CN85104875B
• 公開（公告）日: 1988-08-10
• 發明（設計）人: 花岡浩;松宮貞行
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐制作所
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 曹廣生;辛哲生

一臺坐標測量儀，其中一個檢測器和一個要測量的工作，可以制成在三個尺寸方向相對移動，工件的形狀等是由相對移動量來測量。在這種測量儀器中，一個或幾個氣動支承裝置（５５、１４０、２５０）是插在一個可移動件（２、７０）和一個固定件（１、１００）之間，氣動支承裝置的空氣流出表面的整個面積，是由相對于固定的一個或幾個預定長度和寬度來確定，并且，防止因可移動件的重力等，引起測量精度降低。

本發明涉及的對象是坐標測量儀器，尤其是針對一個可移動件的改進，該可移動件用作移動發出檢測信號的檢測器，該檢測信號與在三度方向中要測量器工作有關。

到目前為止，眾所周知的一種坐標測量儀，其中一個檢測器，譬如;一個接觸式信號探頭等等，是由一個可移動件支持，這在某種意義上，是能在三度方向移動的，當檢測器與基座上的工作有關聯時，檢測器的位移量，在各軸向方向被檢測，為了測量和檢驗等而處理這些檢測量，這種形式的測量儀已在很廣泛的領域使用。在上述過的坐標測量儀的情況，就是一個稱作帶門框型支承的坐標測量儀。

美國專利US、4，155，173是一種懸臂式坐標測量儀，該測量儀的面板上設有兩個方形斷面的導向件，在導向件四周有氣動支承結構，懸臂的一端支承在導向件上，檢測頭設在懸臂的另一端。

美國專利U、S、4，495，703也是一種坐標測量儀，它有一門框型結構，其上支承一檢測頭、門框型結構靠設置在測量臺兩側邊的導軌導向。

日本公開特許公報JP昭-134226公開了一種空氣支承裝置，它包括四個支承板11～14。該對比文件中的發明是用槽將支承面分割，從而形成一個由許多小支承面構成的組件，使較重的負載被較小的浮力值支承，可移動件克服降低后的摩擦力沿導向件移動。

圖1表示普通的門框型坐標測量儀。在圖中，作為一個固定件的基座1頂端面是非常平滑的。一個要測量的工件（未示出）放在該頂端面上，該頂端面通過一個可移動件2支持一個檢測器3，如：一個接觸式信號探頭，并且檢測器3可以在三度方向移動。該可移動件2包含一個門框型支承4，該支承4跨過放在基座1上的工件。門框型支承4由支柱5、6和梁7構成，兩支柱5、6放置在基座1的兩相外邊上，而梁7橫過支柱5和6裝設著。通過梁7支持的一個X軸滑塊8能在X方向移動，而X軸滑塊8支持一個可以沿Z軸方向移動的Z軸滑塊9。檢測器3固定到Z軸滑塊9的底端部分。支柱5可以在基座1上移動，支柱6是通過平放在Y軸向的一根導軌11導向。支柱5和6的底端構成端底支承12和13，這兩端底支承是沿Y方向伸長的。因此，甚至門框型支承4沿Y方向移動時，門框型支承4的豎直狀態仍能保持穩定。

如圖2所示，端底支承12在它的縱向兩端裝有兩個氣動支承裝置15。如圖3至5所示，這種氣動支承裝置15由一個空氣墊16構成，該空氣墊16用底端支承12分開制成，一個安裝件17和作為送進空氣的連接管嘴18構成。為了把空氣墊16裝在帶凹槽21的底端支承12下，該空氣墊16形成在它的安裝表面的中心部位，并且在它的空氣流出表面22上，面對著基座1的空氣流出表面22裝有很多空氣流出孔23，每個流出孔23有一個很小的直徑（即大約0.2毫米或更小），這些孔23排列成檢測的形式，在空氣墊16內設有與空氣流出孔23溝通的連接腔24，借此，壓縮空氣通過連接管嘴18引進連接腔24，并且裝有相應的空氣流出孔23。另外，在這些圖中，空氣流出孔23在平面上的分布密度是很稀的，而實際上空氣流出孔23的排列是很密的。

另一方面，安裝件17在空氣墊16的凹槽21內，并且在安裝件17上表面的中心部位帶有坡口28，坡口是一個錐表面，該錐表面是為了支持插在底端支承12和安裝件17之間的一球體27。

此外，在底端支承13中，同上述結構類似的氣動支承裝置15插在導軌11的頂端面和底端支承13之間，同時，在導軌11的兩側面和底端支承13之間，如圖6所示，這些氣動支承裝置15裝在底端支承13的縱向兩端，該底端支承13同底端支承12的情況類似（參見圖2）。

然而，就上述過的普通結構而言，還存在下述缺陷：