[其他]簡易可調恒濕發生裝置

在審

• 申請號: 101985000005259
• 申請日: 1985-07-06
• 公開（公告）號: CN85105259B
• 公開（公告）日: 1988-09-14
• 發明（設計）人: 駱如枋
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海冶金研究所
• 代理公司: 中國科學院上海專利事務所
• 代理人: 季良赳

本發明是一種簡易可調恒濕發生裝置，它由三層彼此絕熱的同心金屬容器組成。外層容器浸入恒定冷源中。中間層容器為含有少量水的密閉容器。中、內層容器的溫度可以調節、控制。本發明可在各種恒定內層溫度或所校濕度傳感器實際使用溫度下，發生出從－１３０℃～＋６０℃露點范圍內任一所需的恒定絕對濕度和從接近０％至１００％的恒定相對濕度。

本發明是一種簡易可調恒濕發生裝置，可至少在-130℃至+60℃溫度范圍內發生任一指定溫度下的從接近0%直到100%的恒定相對濕度，也可以發生從-130℃露點至+60℃露點范圍內任一恒定的絕對濕度。

濕度傳感器技術及濕敏元件的發展，必須要有可調恒定濕度發生裝置，以完成對傳感器的定量校正和某些性能測試。這種裝置通常可分相對濕度及絕對濕度發生裝置兩類。

雙壓法系統、雙濕法系統、六角箱系統、飽和鹽溶液系統以及對流混合裝置等，基本上都屬于相對濕度發生裝置。其中雙壓法、雙溫法系統比較準確，但設備龐大復雜，對濕度傳感器校正費時耗資，不易為一般實驗室所采用;且其發生的絕對濕度范圍較窄，不宜作為絕對濕度傳感器、尤其不可能作為低霜點濕度傳感器的校正定標裝置，六角箱系統使用方便，但不太準確，且只能用于室溫下的校正。飽和鹽溶液系統使用不便;即使是同類鹽飽和溶液，其飽和蒸汽壓也因制造廠家或純度不同而不盡相同。對流混合濕度發生器（T.Ashworth et al，R.Sci.Instr.，48，2，1595，1977）雖可發生低溫度下的各種恒定相對濕度，但這是通過改變被校傳感器所處溫度來達到的;若要調節絕對濕度，就必須掉換冷源，不太實用。

除此外，還有各種型式的相對濕度發生器可用于濕度計和濕度傳感器的定量校正，但大都只限于空氣濕度計的校正，且其機理也多為鹽飽和溶液法（如西德專利2247505;蘇聯專利1056120等）以及干、濕氣混合法（如蘇聯專利792022;蘇聯專利1061097等）。

絕對濕度發生器大致有以下幾種：

1.低霜點濕度發生器（L.Grccnspan，J.R.NBS，scc.A，77（A），671，1973）。該裝置可發生-130℃～-30℃露點溫度的恒定濕度，也比較精密;但是結構十分復雜、昂貴，操作十分麻煩;且其賴以作為冷源的有機混合液具有相當毒性。另外其發生的濕度上限太低（-30℃露點），難以發生更高的濕度，應用有一定限制。

2.干、濕氣體積稀釋-標準露點儀法（O.Cwcchiara，Analysis Instr.，Vol.17，182，1979）。這類裝置比較簡單，使用方便，是一種校正范圍甚寬的動態校正法。但其不能發生恒定的相對濕度，且其所發生的絕對濕度的確切數值必須由標準濕度計（如全自動光電露點儀等）監視，因而難以任意控制。

另一種裝置也可歸結為干、濕氣混流裝置（蘇聯專利375610，642667），可以發生-60℃～+20℃露點的絕對濕度，也可發生-30℃～+90℃下的各種相對濕度，但結構也很龐雜。

3.干燥劑法，該法設備簡單，使用方便;但不能發生相對濕度;所發生的絕對濕度完全由所用干燥劑在各使用溫度下的本征值決定，不能隨意變化。各廠家出產的同類干燥劑的本征值會有很大不同，必須分別予以測定，而標定干燥劑的本征值本身就十分麻煩。近年來已不大為人采用。

4.低濕發生器（R.T.Mator，Analysis Instr.，Vol.12，125，1974）。這是一種綜合了稀釋法與低霜點飽和發生器法的一種動態校正方法，使用方便;只是對氣體的壓力、流速、飽和器的溫度都必須控制得十分精確，而且需要有相當充分的熱交換系統，整個裝置也因而比較龐大。該法不能發生可調恒定的相對濕度。

本發明的目的是提供一種性能可靠、功能較全、使用方便的簡易可調恒濕發生器，既可發生-130℃露點至+60℃露點范圍內的任一恒定絕對濕度，又可發生上述溫度范圍內任一溫度下0%～100%的全程可調恒定相對濕度，可用于各種濕度傳感器和濕敏元件的定量校正和某些性能測試。