[其他]高流量多級(jí)盤形分子泵

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 101985000005304
• 申請(qǐng)日: 1985-07-06
• 公開（公告）號(hào): CN85105304B
• 公開（公告）日: 1988-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 儲(chǔ)繼國;孫云龍;徐禮霸
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 復(fù)旦大學(xué)
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司
• 代理人: 陸飛

1、一種盤形分子泵，包括固定在泵體殼上的多個(gè)定圓盤和同軸安裝在旋轉(zhuǎn)軸上的多個(gè)動(dòng)圓盤，所述定圓盤與所述動(dòng)圓盤是交替設(shè)置的，其特征在于上述定圓盤或上述動(dòng)圓盤面上刻有形狀為R＝R_o·e^ctg2·θ的對(duì)數(shù)螺線槽，其中R為螺線半徑，R_o為圓盤內(nèi)半徑，θ為極坐標(biāo)極角，α為螺線槽切向與圓盤徑向之間的夾角，其值在45°與85°之間。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所說的盤形分子泵，其特征在于各定圓盤的內(nèi)徑R₁取不同值，靠近入口側(cè)的2-4級(jí)取較大值：0.5R₂到0.8R₂之間，其余各級(jí)取較小值;0.3R₂到0.6R₂之間，其中R₂為動(dòng)圓盤的外半徑。

3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所說的盤形分子泵，其特征在于相鄰兩單級(jí)盤形泵的螺線槽開在定圓盤3或動(dòng)圓盤4的兩側(cè)面上，螺線槽的走向相反。

4、根據(jù)權(quán)利要求1或2所說的盤形分子泵，其特征在于相鄰兩單級(jí)盤形泵的螺線槽交替開在定圓盤3和動(dòng)圓盤4上，螺線槽走向一致。

5、根據(jù)權(quán)利要求3所說的盤形分子泵，其特征在于螺線槽切向與圓盤徑向夾角α在50°到60°之間。

6、根據(jù)權(quán)利要求4所說的盤形分子泵，其特征在于螺線槽切向與圓盤徑向夾角α在50°與60°之間。

7、根據(jù)權(quán)利要求3所說的盤形分子泵，其特征在于入口側(cè)串聯(lián)安裝若干級(jí)渦輪分子泵葉輪。

8、根據(jù)權(quán)利要求4所說的盤形分子泵，其特征在于入口側(cè)串聯(lián)安裝若干級(jí)渦輪分子泵葉輪。

9、根據(jù)權(quán)利要求1或2或5或6所說的盤形分子泵的結(jié)構(gòu)原理做成的氣體動(dòng)密封裝置。

10、根據(jù)權(quán)利要求3所說的盤形分子泵的結(jié)構(gòu)原理做成的氣體動(dòng)密封裝置。

11、根據(jù)權(quán)利要求4所說的盤形分子泵的結(jié)構(gòu)原理做成的氣體動(dòng)密封裝置。