[其他]含有預(yù)定方向纖維的襯墊及其制作

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• 申請?zhí)枺?/td>: 101985000005703
• 申請日: 1985-07-19
• 公開（公告）號: CN85105703B
• 公開（公告）日: 1988-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小埃爾默W·詹森
• 申請（專利權(quán)）人: 羅德爾股份有限公司
• 代理公司: 上海專利事務(wù)所
• 代理人: 張海玲

本發(fā)明涉及一種由一浸漬了微孔彈性體，有一工作表面的纖維毛氈織品組成的多孔制成品，其中纖維的定向與該工作表面基本相交。

本發(fā)明涉及一種制成品，該制成品特別適宜于用作材料拋光的襯墊，尤其是用作半導(dǎo)體大圓片拋光的襯墊。

更具體地說，本發(fā)明有關(guān)一種由一片或一張浸漬了微孔彈性體的纖維毛氈組成的多孔材料，其中，形成毛氈的大多數(shù)纖維的定向與物品用作工作表面如拋光表面、承受表面等的表面基本相交，因此，大多數(shù)纖維終止于監(jiān)控該工作表面的地方。纖維的縱軸線最好與工作表面成45°左右至135°左右的角度。本發(fā)明還涉及一種制作該新式制成品的方法。

用于拋光及其它一些本發(fā)明制成可能應(yīng)用的加工操作的傳統(tǒng)的襯墊包括用諸如聚酯纖維類的纖維制成的一片或一卷非紡的毛氈，并用諸如氨基甲酸乙酯之類的微孔彈性體浸漬之。已有技術(shù)中的該物品結(jié)構(gòu)的典型例子為考發(fā)姆牌（CORFAM牌，杜邦公司的一個商標(biāo)）以及蘇巴四號（羅德爾公司的一個商標(biāo)）多孔材料。

在已有技術(shù)中，浸漬后毛氈的纖維是隨意定向的，但一般大多與毛氈織品的主平面平行。用于制作多孔材料的毛氈織品是用眾所周知的技術(shù)制作的，這些技術(shù)包括針織技術(shù)，其目的是為了使纖維在毛氈織品中的纖維在三維方向隨意定向。然而，在實(shí)際生產(chǎn)中，這種纖維的三維隨意定向是很難做到的，大多數(shù)的纖維都與毛氈織品的主要表面平面平行。

在傳統(tǒng)的多孔拋光墊中，纖維使拋光墊合為一體，并支撐墊內(nèi)的柔軟的彈性體組份，這種纖維對拋光操作所起的作用甚微，相反，由于它會吸收廢拋光漿并截留在拋光操作中從被拋光物件上下來的小粒子等，因而會妨礙和阻止拋光操作的進(jìn)行。位于拋光墊表面的纖維使工件與作為活性拋光組份的大部分微孔彈性體隔開了，而纖維的側(cè)面并不能夠有效地拋光。

當(dāng)已有技術(shù)的拋光墊表面的纖維截留了異物顆粒之后，必須調(diào)換拋光墊，因?yàn)檫@些異物顆粒可能劃傷待拋物件的表面，調(diào)換拋光墊時，經(jīng)常還未損耗拋光墊厚度的10%。

用于拋光的多孔彈性體的表面具有抽吸功能。當(dāng)拋光墊旋轉(zhuǎn)時，由工件傳至多孔拋光墊的表面上或表面附近的孔隙的壓力壓縮之，使廢拋光漿及廢渣排出。該孔隙然后再放開，注入新的拋光漿。已有技術(shù)中的拋光墊的孔隙會飽和，拋光墊會變硬，由于墊內(nèi)有許多致密的或變細(xì)的水平定向的纖維束，因而墊中會產(chǎn)生一塊硬性區(qū)域。因此，其柔韌性被削弱了，不可能再有抽吸功能。

本發(fā)明克服了已有技術(shù)中的缺點(diǎn)，與已有技術(shù)中的多孔材料相比是一大改進(jìn)，特別是當(dāng)該材料用作拋光襯墊時更是如此。

此地所用的“臨近”，如：纖維終止于臨近工作表面的地方，指纖維在工作表面上或在比該表面略高或略低的地方終止。

此地所用的“基本相交”，指與一預(yù)定表面形成一個45°左右至135°左右的角度。

此地所用的“工作表面”指本發(fā)明中用作接觸工件的表面，例如拋光表面，承受負(fù)載表面或其他類似表面的物件的表面。

本發(fā)明的一個方面有關(guān)一種多孔制成品，其特征為有一張浸漬有微孔彈性體的纖維毛氈，該毛氈有一工作表面，其側(cè)表面與工作表面相連，其支撐表面與各側(cè)表面相連，其中，大多數(shù)纖維的定向基本與工作表面相交，因此，大多數(shù)纖維端部鄰近工作表面，與工作表面呈45°左右至135°左右的一個角度。

本發(fā)明的另一個方面有關(guān)一種制成品的加工，其特征在于有以下各步驟：

（a）通過以下方式制成預(yù)成型件，

（ⅰ）制成一張由纖維組成其中大多數(shù)纖維的排布有預(yù)定方向的毛氈;

（ⅱ）用一種微孔彈性浸漬毛氈，以及

（ⅲ）使浸漬了彈性體的毛氈固化，以及

（b）以使大多數(shù)纖維與所切表面成基本相交定向的方式切下預(yù)成型件，該切割表面成為工作表面。

本發(fā)明的另一個方面有關(guān)一種多孔物件，以及制作該物件的方法，其中，支撐織品中的大多數(shù)纖維與織品工作表面基本成相交定向，這是采用諸如生產(chǎn)剪切毛頭的絲絨地毯的技術(shù)或稱之為堵塞技術(shù)（flocking）的傳統(tǒng)地毯制造技術(shù)制成的，然后，用可以固化的微孔彈性體浸漬該織物。