[其他]端型多層干涉濾光器的制作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 101985000006301
• 申請日: 1985-08-21
• 公開（公告）號: CN85106301B
• 公開（公告）日: 1988-12-21
• 發(fā)明（設計）人: 山岸豐;石田正彥
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場制作所
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 李強

本發(fā)明涉及端形多層干涉濾光器，本發(fā)明的目的是盡可能地控制多層膜發(fā)生在其切割邊緣的分離，從而改進產品。在本發(fā)明中，設置有具有所需要尺寸的窗口的掩膜被固定在襯底上，以使蒸發(fā)鍍敷材料不能附著到要切割的襯底部分上。根據(jù)本發(fā)明的端型多層干涉濾光器可用于檢測器，例如紅外分析儀的檢測器。

本發(fā)明涉及端型多層干涉濾光器，這種端型干涉濾光器可用于諸如固定在熱檢測器上的光接收表面之上，這種熱檢測器被用作紅外分析器的檢測器;本發(fā)明還涉及這種端型干涉濾光器的制作方法。

眾所周知，熱檢測器的靈敏度在相當寬的波長范圍內是平坦的，相應的，當把這種檢測器用作紅外分析器的檢測器，去檢測特定的波長時，就需要帶通濾光器。然而，因為熱檢測器非常小，小到2到3平方毫米（mm²），所以濾光器也必須是小的。

但是，傳統(tǒng)的用作帶通濾光器的多層干涉濾光器具有很大的架子，其直徑為16mm或20mm，所以，在用傳統(tǒng)的多層干涉濾光器作熱檢測器的濾光器時，需要將其切割成小塊，然而，用切割裝置切割濾光器將導致如下缺點：多層膜易于在切割的邊緣處分離，從而降低產量，所以不能實現(xiàn)大量生產，并且切割造成的分離部分對濾光器的特性有壞影響。特別地，因為濾光器越小，分離部分所占的比例就越高，上面所描述的缺點就變得很顯著，因而使濾光器不能應用于實際當中。

本發(fā)明的目的是提供沒有上面所描述的缺點的端型多層干涉濾光器和制作上述濾光器的方法。

為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的端型多層干涉濾光器的特征在于該濾光器是在阻止蒸發(fā)鍍敷材料被鍍到將要進行切割的襯底部的條件下，通過采用真空蒸發(fā)方法，把高折射率材料和低折射率材料交替地鍍敷到與具有所需要尺寸的多個窗口相對應的襯底部分上而制作出來，而上述窗口是設置在固定地設置在襯底上之掩膜上的。

另外，根據(jù)本發(fā)明的端型多層干涉濾光片的制作方法的特征在于，在阻止蒸發(fā)鍍敷材料被鍍到將要進行切割的襯底部分上的條件下，通過采用蒸發(fā)方法，把高折射率材料和低折射率材料交替地鍍敷到相應于具有所需要尺寸的多個窗口的襯底部分上，而上述窗口是設置在固定設置于襯底上的掩膜上。

根據(jù)本發(fā)明，因為真空蒸發(fā)鍍膜是在下面的條件下實現(xiàn)的，即：通過在襯底上固定設置具有多個窗口的掩膜，從而阻止蒸發(fā)鍍敷材料被鍍到將要進行切割的襯底部分上，即使在濾光器在真空蒸發(fā)鍍敷完成后切割成小塊的情況下，蒸發(fā)鍍敷材料分離的問題也不會發(fā)生，所以可以改進產品，并且可獲得性能優(yōu)良的濾光器。

附圖的簡單描述：

圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的端形多層干涉濾光器的一個實施方案的制作過程，和由所述制作過程制作的濾光器;

圖2是顯示從其表面看到的掩膜示意圖;

圖3是剖視圖，顯示了如圖2所示的掩膜;

圖4是示意圖，顯示了當在掩膜窗口四周不設置階形部分時所產生的缺點。

現(xiàn)在參見圖1，圖1顯示了端型多層干涉濾光器的制作過程，以及由這種制作方法制備的濾光器，其中標號（1）表示襯底，例如，藍寶石襯底。（2）表示掩膜。該掩膜（2）帶有多個具有所需要尺寸的窗口（3）。窗口（3）的大小可以根據(jù)所需的濾光器的大小決定。當制作用于熱探測器的濾光器時，所述窗口（3）的大小可以選擇為2到3平方毫米（mm₂）。窗口（3）的數(shù)量最好盡可能地多。上述的理由在于通過實現(xiàn)大量生產以降低成本。在掩膜（2）的正面，通過在窗口（3）的四周作出階形部分（4）而形成減小的厚度。下面的理由可以解釋上述階形部分（4）的制作。