[其他]一種等離子陽極化方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 101986000002538
• 申請(qǐng)日: 1986-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN86102538B
• 公開（公告）日: 1988-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李瓊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華東師范大學(xué)
• 代理公司: 上海德昭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 湯錦森;俞允超

1、一種等離子陽極化方法，其中含有反應(yīng)室，電感耦合的射頻放電，熱陰極直流放電，

工作氣體為O₂，本發(fā)明的特征在于采用射頻電源和直流電源共同激發(fā)的氣體放電，真空反應(yīng)室中加工作氣壓0.5～10TOrr。

2、按權(quán)利要求1規(guī)定的一種等離子陽極化方法，其特征在于真空反應(yīng)室中的工作氣體可以是O₂，N₂O，干燥空氣，O₂+Ar或其他含氧氣體。

3、一種等離子陽極化設(shè)備，其中含有電爐、反應(yīng)室、射頻電源、直流電源、電極，本發(fā)明的特征在于真空放電室中的平行板電容器式的下電極上，鑲裝一圈與下電極板金屬材料絕緣的半徑一定的園陽極。多圈陽極結(jié)構(gòu)是在平板電容器式的下電極上，鑲裝二圈或二圈以上與下電極金屬材料絕緣的半徑一定的陽極。陽極裝在下電極上，與下電極絕緣，其位置與下電極邊緣及中心孔等距。單片連續(xù)刻蝕結(jié)構(gòu)是下電極中心安裝一個(gè)單一與下電極絕緣，半徑一定的陽極，其半徑小于下電極半徑。該陽極材料可為金屬鋁，或其他耐氧化導(dǎo)電金屬材料，以云母片和絕緣子與下電極絕緣，其連接線由下電極下方引出。

4、按權(quán)利要求3規(guī)定的一種等離子陽極化設(shè)備，其特征在于真空反應(yīng)室中的平行電容器式的二個(gè)電極上加上大功率射頻電壓，下電極上與之絕緣的陽極結(jié)構(gòu)上與上電極形成直流回路，并在該直流回路中使用大功率直流電源。