[其他]斜行光干涉儀伸縮計(jì)量方法及裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 101986000004916
• 申請日: 1986-08-08
• 公開（公告）號: CN1005648B
• 公開（公告）日: 1989-11-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李志超;黃文浩
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
• 代理公司: 中國科學(xué)院合肥專利事務(wù)所
• 代理人: 趙烏蘭

1、一種用法布里·白洛干涉儀測量微小位移或伸縮的方法，將待測物放在與干涉儀的一個鏡片相連的中心測桿的一端，干涉儀的這個鏡片即隨待測物一起運(yùn)動，干涉儀的另一個鏡片由壓電元件推動作掃描運(yùn)動，采用二支或二支以上光束，進(jìn)入干涉儀，由干涉光強(qiáng)極大值與掃描電壓波形的位相差，求出待測物的位移或伸縮量Δd，本方法的特征在于：

（1）進(jìn)入干涉儀的光束，至少有一支為斜行光束，它與待測物的位移或伸縮方向有非O值的夾角θ，斜行光束或以θ角進(jìn)入與位移或伸縮垂直的干涉儀鏡面，或垂直入射到其法線與位移或伸縮成θ角的干涉儀鏡面，

（2）待測物的位移或伸縮量Δd按下列步驟得到：

以加在壓電元件上的掃描電壓為基準(zhǔn)，由干涉光強(qiáng)極大值的位相變化，測得各支光束位移或伸縮前后的干涉級變化量的小數(shù)部分，令θ＝0的正入射光束干涉級變化量小數(shù)部分為Δkd0 ]]>，θ≠0的斜行光束干涉級變化量小數(shù)部分為Δkd1 ]]>，計(jì)算

正入射光束干涉級變化量整數(shù)部分ΔKi0 ]]>＝（ΔKd0 ]]>·cosθ-ΔKd1 ]]>）/（1-cosθ）

正入射光束干涉級變化量ΔK₀＝ΔKi0 ]]>+ΔKd0 ]]>

（ⅰ）當(dāng)正入光束與斜行光束干涉級變化量之差小于1時，

由2d·cosθ＝kλ 而θ＝0，求得Δd＝λ/2·Δk₀

（ⅱ）當(dāng)正入射光束與第一支斜行光束干涉級變化量之差大于1時，可以先用其它簡單計(jì)量長度的方法粗測，或設(shè)置第二支斜行光束，其θ角更小，滿足干涉級變化量之差不大于1的條件，允許其相位測定精度不足，有整數(shù)半波長的誤差，由粗測數(shù)據(jù)判斷ΔK₀的區(qū)間，以決定其所超整數(shù)，再解算Δd。

2、一種實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1所述方法的裝置，它由機(jī)械系統(tǒng)、光電系統(tǒng)、測量顯示系統(tǒng)組成，其中：