[其他]軸承結構

在審

• 申請號: 101986000004920
• 申請日: 1986-07-31
• 公開（公告）號: CN1005352B
• 公開（公告）日: 1989-10-04
• 發明（設計）人: 安東尼·布魯斯·巴納比
• 申請（專利權）人: 蘭克·泰勤霍布森有限公司
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 蕭爾剛

1、一種軸承結構包括固定件（14）和轉動件（12），用于支持相對于該固定件（14）繞一垂直軸旋轉的工件支持盤（4），該轉動件（12）和固定件（14）作向下的軸向運動，第二空氣軸承在該轉動件（12）和固定件（14）之間起作用，限定該轉動件（12）相對于該固定件（14）作向上的軸向運動，管道裝置（54）把空氣輸到該空氣軸承（56，66），第三軸承（34，36，38）在該轉動件（12）和該固定件（14）之間起作用，限定該轉動件（12）相對于固定件（14）作徑向運動，其特征在于該第三軸承是一種干低摩擦軸承（34，36，38），該第一空氣軸承（56）的剛性比第二空氣軸承（66）的剛性強。

2、如權利要求1所述的軸承結構，其特征在于每一個空氣軸承（56，66）包括上述固定件（14）上的第一徑向延伸環形面和上述轉動件（12）上的第二徑向延伸的環形面，該兩環形面彼此相對，兩者之間確定一間隔，該間隔與上述管道裝置連接。

3、如權利要求2所述的軸承結構，其特征在于上述兩軸承上的每一環形面在其圍繞上述軸的位置都具有孔（60，64），該孔（60）與上述管道（52）相連接，把空氣輸到上述間隔，該第一空氣軸承（56）的一個面中的孔（60）處于相對于該第二空氣軸承（66）的一個面中的孔（64）徑向朝外的位置。

4、如權利要求1所述的軸承結構，其特征在于，該第一空氣軸承（56）處于第二空氣軸承（66）之上。

5、如權利要求1所述的軸承結構，其特征在于干低摩擦軸承包括三個處于等角度分布位置的軸承部份（34，36，38）。

6、如權利要求5所述的軸承結構，其特征在于兩個上述軸承部份（34，36）是固定的而第三個軸承部分（38）可徑向調節。

7、如權利要求1所述的軸承結構，其特征在于驅動裝置驅動轉動件（12）以每分鐘0.03轉到10轉的轉速運轉。