[發(fā)明專利]一種通過壓強變化判斷刻蝕終止點的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010238650.1 | 申請日： | 2010-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN102337522A | 公開（公告）日： | 2012-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 林英浩 | 申請（專利權(quán)）人： | 沈陽拓荊科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/52 | 分類號： | C23C16/52;H01L21/66;H01J37/32 |
| 代理公司： | 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002 | 代理人： | 張志偉 |
| 地址： | 110168 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 通過 壓強 變化 判斷 刻蝕 終止 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種通過壓強變化判斷刻蝕終止點的方法，其特征在于：需要判斷刻蝕終止點的腔體與排氣管道連通，排氣管道上設(shè)有閥，通過監(jiān)測腔體內(nèi)壓強變化來判斷刻蝕終止點。
2.按照權(quán)利要求1所述的通過壓強變化判斷刻蝕終止點的方法，其特征在于：刻蝕時，排氣管道上閥的開度不變，通過監(jiān)測腔體內(nèi)壓強變化來判斷刻蝕終止點。
3.按照權(quán)利要求1所述的通過壓強變化判斷刻蝕終止點的方法，其特征在于：閥的開度17％；刻蝕過程中，當腔體內(nèi)壓強從3torr變?yōu)?.5torr時，刻蝕清洗完畢。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
