[實用新型]超純氣體充裝系統

有效

• 申請號: 201220217660.1
• 申請日: 2012-05-13
• 公開（公告）號: CN202580629U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 金星屹;張根華
• 申請（專利權）人: 重慶瑞信氣體有限公司
• 主分類號: F17D1/04
• 分類號: F17D1/04;F17C5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種超純氣體充裝系統，包括通過管道連接的氣體純化單元、氣體壓力顯示單元和氣體充裝單元，其特征在于：所述氣體充裝單元的管路上設有壓力控制組件。

2.根據權利要求1所述的超純氣體充裝系統，其特征在于：所述氣體純化單元包括低溫儲罐、汽化器、隔膜壓縮機、單向閥、高壓純化器，所述低溫儲罐、汽化器、隔膜壓縮機、單向閥、高壓純化器之間通過管道依次連接。

3.根據權利要求1所述的超純氣體充裝系統，其特征在于：所述氣體充裝單元包括通過管道與高壓純化器連接的壓力控制組件、進氣閥，和然后通過一個四通管道其中一個末端連接的氣體充裝管路，還包括氣體充裝管路末端連接的真空表和真空泵，所述四通管道的另外兩個末端分別連接放空閥和壓力顯示單元。

4.根據權利要求1或3所述的超純氣體充裝系統，其特征在于：所述壓力控制組件為背壓閥。

5.根據權利要求3所述的超純氣體充裝系統，其特征在于：所述氣體充裝管路為兩組，采用雙路并聯的方式連接，每一組氣體充裝管路包括通過管道依次連接的充裝閥、匯流排和抽空閥。

6.根據權利要求1所述的超純氣體充裝系統，其特征在于：所述壓力顯示單元包括通過三通管道另外兩個末端連接的壓力表和壓力變送器，還包括與壓力變送器雙路并聯連接的安全閥；所述壓力表的連接管路上還連接有壓力表閥和壓力表排氣閥。