[發(fā)明專(zhuān)利]測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310210421.2
• 申請(qǐng)日: 2013-05-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104215187A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱崢嶸;埃德加·吉尼奧;趙連芳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 昆山勝澤光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/06
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/06;G01N21/41
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243
• 代理人: 郭俊玲

1.一種測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：包括至少兩個(gè)光源(1)和一個(gè)計(jì)算裝置(2)，以及對(duì)應(yīng)每個(gè)光源(1)的光學(xué)系統(tǒng)(3)、光線(xiàn)接收器(4)和光譜分析裝置(5)，所述每個(gè)光源(1)的光線(xiàn)通過(guò)對(duì)應(yīng)的光學(xué)系統(tǒng)(2)以大于0度且小于90度的傾斜角照射至AR減反膜(6)膜面同一側(cè)的同一點(diǎn)，且反射后的光線(xiàn)被對(duì)應(yīng)的光線(xiàn)接收器(4)接收，所述每個(gè)光線(xiàn)接收器(4)通過(guò)光纖或光路連接對(duì)應(yīng)的光譜分析裝置(5)，且每個(gè)光譜分析裝置(5)均通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)最終連接計(jì)算裝置(2)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：所述每個(gè)光學(xué)系統(tǒng)(3)與對(duì)應(yīng)的每個(gè)光線(xiàn)接收器(4)位于膜面同一側(cè)的同一平面，并且它們與AR減反膜(6)垂直方向所成的傾斜角度相同且不重合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：所述光源(1)為寬光譜的光源，且光源(1)通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)后的光線(xiàn)為偏振光或者非偏振光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：所述光學(xué)系統(tǒng)(3)為一種或多種光學(xué)元件組成的透射式光學(xué)系統(tǒng)、反射式光學(xué)系統(tǒng)或光纖。