[發(fā)明專利]狹小縫隙直線度與平面度的測量方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310477346.6
• 申請日: 2013-10-14
• 公開（公告）號: CN104567748B
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉晶;張擁軍;徐瀛杰
• 申請（專利權(quán)）人: 上海金藝檢測技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01B11/27
• 分類號: G01B11/27;G01B11/30
• 代理公司: 上海天協(xié)和誠知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31216
• 代理人: 張恒康

本發(fā)明公開了一種狹小縫隙直線度與平面度的測量方法，本方法中輔助裝置的測量端子設(shè)于階梯測量塊的上平面，階梯測量塊下平面的平面度小于0.01mm，階梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm。將階梯測量塊安插于狹縫中，階梯測量塊下平面與狹縫測量面接觸、階梯面抵靠狹縫外端面，標(biāo)靶安放于圓環(huán)形測量端子上；采用光學(xué)測量設(shè)備采集標(biāo)靶參數(shù)，階梯測量塊沿狹縫端面滑動，通過光學(xué)測量設(shè)備分別采集標(biāo)靶在狹縫測量面各測點(diǎn)的參數(shù)；通過光學(xué)測量設(shè)備得到狹縫測量面的直線度、平面度數(shù)據(jù)。本方法方便實(shí)現(xiàn)狹小縫隙參數(shù)的精確測量，克服了傳統(tǒng)狹縫測量方式的缺陷，提高測量精度和效率，保證狹縫類設(shè)備可靠運(yùn)行。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種狹小縫隙直線度與平面度的測量方法。

背景技術(shù)

通常狹縫設(shè)備的直線度及平面度在限定的狹縫長度范圍內(nèi)，狹縫上表面、下表面直線要素、平面要素的實(shí)際形狀，其數(shù)值大小表示了測量面保持理想直線、平面要素的實(shí)際狀況。其公差帶是在兩平行線、兩平行平面之間的區(qū)域。

狹縫直線度與平面度的檢測過程中，受狹縫的空間狹小限制，狹縫的直線度與平面度無法實(shí)現(xiàn)高精度測量。一般狹縫常規(guī)的檢測主要有狹縫寬度檢測，通常采用塞尺或游標(biāo)卡尺進(jìn)行測量。其測量范圍小、精度差，且受檢測人員的測量經(jīng)驗(yàn)影響較大。

隨著加工、制造業(yè)的飛速發(fā)展，狹縫類設(shè)備的空間位置狀態(tài)引起行業(yè)的重視，其直線度、平面度常常決定了設(shè)備的性能實(shí)現(xiàn)，如仍采用原有檢測方法，根本無法確定狹縫設(shè)備狀態(tài)，嚴(yán)重影響設(shè)備的性能精度和功能維護(hù)，提高了設(shè)備檢修的成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種狹小縫隙直線度與平面度的測量方法，利用輔助裝置可方便實(shí)現(xiàn)狹小縫隙直線度與平面度的精確測量，采用本方法克服了傳統(tǒng)狹縫測量方式的缺陷，提高了測量精度和效率，保證了狹縫類設(shè)備的可靠運(yùn)行。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明狹小縫隙直線度與平面度測量的輔助裝置包括階梯測量塊和圓環(huán)形測量端子，所述測量端子設(shè)于所述階梯測量塊的上平面，所述階梯測量塊下平面的平面度小于0.01mm，所述階梯測量塊的階梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm。

狹小縫隙直線度與平面度的測量方法包括如下步驟：

步驟一、將輔助裝置的階梯測量塊安插于狹縫中，階梯測量塊的下平面與狹縫所需測量的平面相接觸，階梯測量塊的階梯面抵靠于狹縫外端面，將光學(xué)測量設(shè)備的標(biāo)靶安放于圓環(huán)形測量端子上；

步驟二、通過光學(xué)測量設(shè)備采集標(biāo)靶的參數(shù)，將階梯測量塊沿狹縫端面滑動并階梯面緊貼狹縫端面，通過光學(xué)測量設(shè)備分別采集標(biāo)靶在狹縫測量面各測點(diǎn)的參數(shù)，以完成狹縫測量面各測點(diǎn)數(shù)據(jù)采集；

步驟三、通過光學(xué)測量設(shè)備對采集的狹縫測量面各測點(diǎn)數(shù)據(jù)進(jìn)行模擬、分析和計算，得到狹縫測量面的直線度、平面度數(shù)據(jù)。

由于本發(fā)明狹小縫隙直線度與平面度的測量方法采用了上述技術(shù)方案，即本輔助裝置的測量端子設(shè)于階梯測量塊的上平面，階梯測量塊下平面的平面度小于0.01mm，階梯測量塊的階梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm。本測量方法將階梯測量塊安插于狹縫中，階梯測量塊下平面與狹縫所需測量的平面相接觸、階梯面抵靠于狹縫外端面，將標(biāo)靶安放于圓環(huán)形測量端子上；采用光學(xué)測量設(shè)備采集標(biāo)靶參數(shù)，將階梯測量塊沿狹縫端面滑動，通過光學(xué)測量設(shè)備分別采集標(biāo)靶在狹縫測量面各測點(diǎn)的參數(shù)，完成狹縫測量面各測點(diǎn)數(shù)據(jù)采集；通過光學(xué)測量設(shè)備對采集的狹縫測量面各測點(diǎn)數(shù)據(jù)進(jìn)行模擬、分析和計算，得到狹縫測量面的直線度、平面度數(shù)據(jù)。本輔助裝置可方便實(shí)現(xiàn)狹小縫隙直線度與平面度的精確測量，本方法克服了傳統(tǒng)狹縫測量方式的缺陷，提高了測量精度和效率，保證了狹縫類設(shè)備的可靠運(yùn)行。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明：

圖1為本方法中的輔助裝置結(jié)構(gòu)示意圖。