[發明專利]一種功率器件的失效定位方法

在審

• 申請號: 201610470513.8
• 申請日: 2016-06-24
• 公開（公告）號: CN107544014A
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發明（設計）人: 沈立;程玉華
• 申請（專利權）人: 上海北京大學微電子研究院
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R31/02;G01J5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種功率器件的失效定位方法，其特征在于，包括：

對失效功率器件樣本進行開封；

將開封后的功率器件置于載物臺上；

固定并調節紅外熱成像儀，使其顯示屏剛好容納芯片；

對功率器件進行電壓偏置，找到熱點最清晰的偏置電壓；

對功率器件施加恒定的上述偏置電壓，獲取該偏置電壓下的芯片表面熱像圖；將上述熱像圖與芯片物理結構圖疊加處理，以準確定位異常漏電流。

2.根據權利要求1所述的功率器件的失效定位方法，其特征在于，放置功率器件的載物臺帶有溫控裝置，主要用于保持功率器件處于合適的溫度，以便顯示異常溫度區域。

3.根據權利要求1所述的功率器件的失效定位方法，其特征在于，使用紅外熱成像儀捕捉芯片異常熱點，以定位漏電流。

4.根據權利要求1所述的功率器件的失效定位方法，其特征在于，對功率器件進行電壓偏置，找到熱點最清晰的偏置電壓步驟包括：對紅外熱成像儀下的功率器件進行電壓偏置，所施加電壓遵循緩慢增大再減小的重復過程，觀察紅外熱成像儀的顯示屏，熱點周期性出現與消失，找到熱點最清晰時刻的偏置電壓；其意義在于：偏置狀態要保證使失效部位產生足夠的電流激發熱點，而又不能使其他部位溫度明顯升高。

5.根據權利要求4所述的功率器件的失效定位方法，其特征在于，整個過程在暗房中進行，以避免太陽光對紅外熱成像造成干擾。

6.根據權利要求1所述的功率器件的失效定位方法，其特征在于，將獲取的芯片表面熱像圖與芯片物理結構圖疊加處理，以清晰明確地顯示出功率器件的失效部位。