[發明專利]硅棒裝卸裝置及硅棒多工位加工機

在審

• 申請號: 201710358059.1
• 申請日: 2017-05-19
• 公開（公告）號: CN108942643A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 盧建偉;李鑫
• 申請（專利權）人: 浙江集英精密機器有限公司
• 主分類號: B24B41/00
• 分類號: B24B41/00;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/08;B24B49/02;B24B9/06
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100
• 代理人: 王麗丹

1.一種硅棒裝卸裝置，其特征在于，包括：

硅棒裝卸區位，設有用于承載硅棒豎立放置的硅棒承載臺；

換向載具，用于作換向運動；以及

硅棒夾具，設于所述換向載具的第一安裝面；

其中，通過驅動所述換向載具作換向運動，使得所述換向載具的硅棒夾具在所述硅棒裝卸區位和硅棒功能區位之間轉換以移送所述硅棒。

2.根據權利要求1述的硅棒裝卸裝置，其特征在于，所述硅棒夾具包括：

夾具安裝件，設于所述換向載具上；以及

至少兩個硅棒夾持件，沿著所述夾具安裝件間距設置。

3.根據權利要求2述的硅棒裝卸裝置，其特征在于，所述硅棒夾持件包括：

夾臂安裝座，設于所述夾具安裝件上；

至少兩個夾臂，活動設于所述夾臂安裝座上；以及

夾臂驅動機構，用于驅動所述至少兩個夾臂作開合動作。

4.根據權利要求3述的硅棒裝卸裝置，其特征在于，所述夾臂驅動機構包括：

開合齒輪，設于所述夾臂上；

齒輪驅動件，具有與所述夾臂上的開合齒輪嚙合的齒紋；以及

驅動源，連接于所述齒輪驅動件，用于驅動所述齒輪驅動件運動。

5.根據權利要求4述的硅棒裝卸裝置，其特征在于，所述齒輪驅動件為齒條，所述齒條的相對兩側分別設有與所述至少兩個第一夾臂上的開合齒輪嚙合的第一齒紋；所述驅動源為用于帶動所述齒條運動的氣缸或電機。

6.根據權利要求2所述的硅棒裝卸裝置，其特征在于，所述至少兩個硅棒夾持件中的至少一個硅棒夾持件設有導向驅動機構，用于驅動其沿著所述夾具安裝件運動，以調節所述所述至少兩個硅棒夾持件的間距。

7.根據權利要求1所述的硅棒裝卸裝置，其特征在于，還包括高度檢測儀，設于所述換向載具上，用于檢測所述硅棒的高度。

8.根據權利要求1所述的硅棒裝卸裝置，其特征在于，還包括平整度檢測儀，設于所述換向載具的第二安裝面，用于對所述硅棒進行平面平整度檢測。

9.根據權利要求8所述的硅棒裝卸裝置，其特征在于，所述平整度檢測儀包括：

接觸式檢測結構；

檢測儀移位機構；以及

檢測控制器，與所述接觸式檢測結構和所述檢測儀移位機構連接，用于控制所述檢測儀移位機構帶動所述接觸式檢測結構移位以及控制所述接觸式檢測結構依序檢測所述硅棒中待測面上各個檢測點的相對距離。

10.一種硅棒多工位加工機，其特征在于，包括根據權利要求1-9任一項所述的硅棒裝卸裝置。