[發明專利]等離子蝕刻的自動除粉裝置及方法

在審

• 申請號: 202010045534.1
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN111136901A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 丁雪苗;趙公魄
• 申請（專利權）人: 珠海寶豐堂電子科技有限公司
• 主分類號: B29C59/14
• 分類號: B29C59/14;B08B1/02;B08B5/02;B08B15/04;B29L7/00
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 張志輝

1.等離子蝕刻的自動除粉裝置，其特征在于，包括：

蝕刻腔室，沿第一水平方向排列有多根用于輸送基板的傳動輥；

除粉腔室，沿第一水平方向排列有多根用于輸送基板的傳動輥；

活動閘板，設置于所述蝕刻腔室和所述除粉腔室之間，可隔離或連通所述蝕刻腔室和所述除粉腔室；

毛刷組件，安裝于所述除粉腔室內，與所述基板的表面接觸，可相對所述基板沿第一水平方向往復移動；

吹氣口，設置于所述除粉腔室內，朝向所述基板的表面吹氣；

吸塵器，與所述除粉腔室相連通。

2.根據權利要求1所述的等離子蝕刻的自動除粉裝置，其特征在于，多根所述傳動輥可同步正轉及同步反轉，所述基板放置于所述傳動輥上。

3.根據權利要求1或2所述的等離子蝕刻的自動除粉裝置，其特征在于，所述毛刷組件包括輪軸和毛刷輪，所述毛刷輪與輪軸旋轉連接，所述輪軸固定安裝于所述除粉腔室內。

4.根據權利要求1或2所述的等離子蝕刻的自動除粉裝置，其特征在于，所述毛刷組件包括輪軸和毛刷輪，所述毛刷輪與輪軸旋轉連接，所述輪軸可在所述除粉腔室內沿第一水平方向往復移動。

5.根據權利要求1所述的等離子蝕刻的自動除粉裝置，其特征在于，所述吹氣口連通壓縮空氣源。

6.根據權利要求1所述的等離子蝕刻的自動除粉裝置，其特征在于，所述毛刷組件和所述吹氣口均分布于所述除粉腔室的頂部，所述吸塵器與所述除粉腔室的底部相連通。

7.等離子蝕刻的自動除粉方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一、提供蝕刻腔室和除粉腔室，將待蝕刻的基板放置于所述蝕刻腔室內，隔離所述蝕刻腔室和所述除粉腔室；

步驟二、蝕刻腔室對基板的表面進行蝕刻，當粉塵達到一定厚度時，停止蝕刻；

步驟三、連通所述蝕刻腔室和所述除粉腔室，將基板從所述蝕刻腔室轉移至所述除粉腔室內，然后隔離所述蝕刻腔室和所述除粉腔室；

步驟四、提供毛刷組件和吹氣口，通過毛刷組件與基板的表面接觸并相對基板往復移動，以清掃基板表面的粉塵，同時吹氣口朝向基板的表面吹氣，將粉塵揚起；

步驟五、提供吸塵器，將脫離基板表面的粉塵吸走；

步驟六、將基板從所述除粉腔室轉移至所述蝕刻腔室內；

步驟七、重復步驟一至六，直至基板蝕刻完畢。

8.根據權利要求7所述的等離子蝕刻的自動除粉方法，其特征在于，所述蝕刻腔室和所述除粉腔室沿第一水平方向均排列有多根用于輸送基板的傳動輥，多根所述傳動輥可同步正轉及同步反轉，所述基板放置于所述傳動輥上。

9.根據權利要求7所述的等離子蝕刻的自動除粉方法，其特征在于，所述蝕刻腔室和所述除粉腔室之間設置有活動閘板，所述活動閘板可隔離或連通所述蝕刻腔室和所述除粉腔室。

10.根據權利要求7所述的等離子蝕刻的自動除粉方法，其特征在于，所述毛刷組件包括輪軸和毛刷輪，所述毛刷輪與輪軸旋轉連接，所述輪軸可在所述除粉腔室內沿第一水平方向往復移動。