[發(fā)明專利]減少開裂的旋轉(zhuǎn)靶材綁定方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110790276.4 | 申請日： | 2021-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN113684459A | 公開（公告）日： | 2021-11-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馬建保;盛明亮;陳亮;王振宏 | 申請（專利權(quán)）人： | 蕪湖映日科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243 | 代理人： | 楊靜 |
| 地址： | 241000 安徽省蕪湖市中國(安徽)自*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 減少 開裂 旋轉(zhuǎn) 綁定 方法 | ||
1.一種減少開裂的旋轉(zhuǎn)靶材綁定方法，其特征在于：包括有：
首先依次分別對背管外表面和ITO靶筒內(nèi)表面進(jìn)行金屬化；再將背管ITO靶筒組裝在一起；
將組裝好的靶材呈豎直狀態(tài)裝于綁定爐內(nèi)采用灌銦進(jìn)行升溫綁定：綁定爐內(nèi)從上到下分布有加熱器，多個加熱器加熱控制綁定爐從上到下的溫度，綁定前背管內(nèi)從上到下的溫度最大與最小值溫差≤3℃，升溫綁定時(shí)綁定爐內(nèi)從上到下的溫度最大與最小值溫差≤8℃，升溫綁定時(shí)背管內(nèi)從上到下的溫度最大與最小值溫差≤5℃；
綁定完成后進(jìn)行降溫。
2.如權(quán)利要求1所述減少開裂的旋轉(zhuǎn)靶材綁定方法，其特征在于：所述綁定爐內(nèi)從上到下安裝多個熱偶，以及在綁定爐內(nèi)位于背管內(nèi)從上到下安裝多個熱偶進(jìn)行多點(diǎn)測溫。
3.如權(quán)利要求1所述減少開裂的旋轉(zhuǎn)靶材綁定方法，其特征在于：所述背管外表面金屬化為：將熔融狀態(tài)的銦均勻涂于加熱的背管表面，背管內(nèi)插入加熱管進(jìn)行加熱；
ITO靶筒內(nèi)表面進(jìn)行金屬化為：采用熔融狀態(tài)的銦均勻涂于加熱ITO靶筒內(nèi)表面，再采用加熱爐加熱。
4.如權(quán)利要求1所述減少開裂的旋轉(zhuǎn)靶材綁定方法，其特征在于：所述背管與ITO靶筒之間通過灌銦進(jìn)行焊接綁定，背管內(nèi)最低溫度≥165℃。
5.如權(quán)利要求1所述減少開裂的旋轉(zhuǎn)靶材綁定方法，其特征在于：綁定現(xiàn)場的環(huán)境溫度為25-30℃，相對濕度≤80%。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
