[其他]干涉儀的補償裝置無效
| 申請號: | 85101015 | 申請日: | 1985-04-01 |
| 公開(公告)號: | CN85101015B | 公開(公告)日: | 1987-11-25 |
| 發明(設計)人: | 崔萬玉 | 申請(專利權)人: | 北京科學儀器廠 |
| 主分類號: | G01B9/02 | 分類號: | G01B9/02 |
| 代理公司: | 北京市儀器儀表專利事務所 | 代理人: | 朱成蓉 |
| 地址: | 北京市安外*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 干涉儀 補償 裝置 | ||
1、一種干涉儀的補償裝置,其中參考棱鏡(3)、執行元件(15)與支架(1)相剛聯,測量棱鏡(4)與執行元件(13)相剛聯,然后與干涉儀(18),安置在同一床身(5)上,參考棱鏡架(2)與執行元件架(16)的安裝基面,位于垂直于測量軸線的同一平面(C)內,測量棱鏡的安裝基面與參考棱鏡的安裝基面,位于垂直于測量軸線的同一平面(B)內,其特征在于:
(1)在零位,測量臂(11)的光程與參考臂(12)的光程相等,兩臂光路相對于分光鏡(8)對稱分布,分光鏡(8)被安置在兩反光鏡(7)、(10)之間的位置上,二反光鏡(7)、(10)相對于分光鏡(8)成對稱分布;
(2)在穩定He-Ne激光器腔長上,支架(21)的長度L和補償環(20)、(22)的長度之和1(1=11+12),與二者線脹系數α架、α補成反比,即:L/l=α補/α架;
(3)床身為一在重力及與重力同方向外力作用下,只產生純彎變形的簡支梁;
(4)參考棱鏡架(16)的線脹系數α參與測量棱鏡架(19)、執行元件(13)、執行元件(14)及架(16)的線脹系數α執和二處溫度變化量△t參、△t執成反比:α參/α執=△t執/△t參,即:使得基面(B)與基面(C)之間的兩段線脹量相等。
2、按照權利要求1所說的干涉儀的補償裝置,其特征在于:
干涉儀光路各段:從分光鏡(8)到二反光鏡(7)、(10),沿光軸的幾何距離相等;從二反光鏡(7)、(10),到兩個棱鏡(3)、(4),沿光軸的幾何距離相等。
3、按照權利要求2所說的干涉儀的補償裝置,其特征在于干涉儀(18)中的參考臂(12)上設旋轉式雙光楔(6)。
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