[其他]監(jiān)控光學(xué)鍍膜厚度的雙光束光學(xué)系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 85101725
• 申請(qǐng)日: 1985-04-01
• 公開（公告）號(hào): CN85101725B
• 公開（公告）日: 1987-10-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王占青
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06;C23C14/54
• 代理公司: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春專利事務(wù)所
• 代理人: 劉樹清

1.一種監(jiān)控光學(xué)鍍膜厚度的雙光束光學(xué)系統(tǒng)， 由光源、雙孔光欄、調(diào)制器、透鏡、監(jiān)控片及接收 器組成，其特征是：調(diào)制器為雙排孔調(diào)制扇〔5〕， 在光源〔2〕與等雙孔光欄〔4〕之間置有角可變?yōu)V光 片〔3〕，雙排孔調(diào)制扇〔5〕、透鏡〔6〕、監(jiān)控片〔8〕 及接收器〔10〕與光軸垂直依次置于等雙孔光欄〔4〕 之后，監(jiān)控片〔8〕置于真空室中，與等雙孔光欄〔4〕 中通過(guò)測(cè)量光束的孔處在透鏡〔6〕的共軛像面位置 上。

2.按權(quán)利要求1所述的一種監(jiān)控光學(xué)鍍膜厚 度的雙光束光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于等雙孔光欄〔4〕 的兩個(gè)矩形孔的公共中心線與角可變?yōu)V光片〔3〕的 光軸垂直相交，矩形孔長(zhǎng)為L(zhǎng)，兩孔中心距為C。

3.按權(quán)利要求1所述的一種監(jiān)控光學(xué)鍍膜厚 度的雙光束光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于雙排孔調(diào)制扇〔5〕 的旋轉(zhuǎn)軸線與等雙孔光欄〔4〕的公共中心線垂直相 交，扇形孔分別均布在以D±C為直徑的兩個(gè)圓的 圓周上。一個(gè)圓周上的扇形孔處在另一個(gè)圓的圓周 上相鄰兩扇形孔所構(gòu)成的中心角分線上，直邊分別 在調(diào)制扇的直徑上，弧邊分別在以D和D±2C為 直徑的三個(gè)圓的圓周上。